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클러스터장비용웨이퍼반송장치의정렬방법및장치

  • 기술번호 : KST2015074296
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비에 관한 것으로서, 특히 복합공정의 원활한 수행을 위한 반응로와 웨이퍼 반송로봇의 정확한 정렬이 이루어지도록 하는 클러스터 장비용 웨이퍼 반송장치의 정렬방법 및 장치에 관한 것으로 플랫폼 주위의 각 반응로의 정확한 정렬과 웨이퍼 반송로봇의 정확한 정렬이 이루어질 수 있도록 한 것으로 클러스터 장비용 플랫폼의 중앙에 설치된 웨이퍼 반송장치인 로봇을 플랫폼 주위에 설치된 주변모듈, 즉, 각 공정 반응로(process chamber), 냉각모듈(cooling module), 정렬모듈(alignmodule) 등과의 정렬이 정확하게 이루어질 수 있도록 광감지소자를 적용하여 감지할 수 있도록 함을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/681(2013.01) H01L 21/681(2013.01)
출원번호/일자 1019930029998 (1993.12.27)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0126588-0000 (1997.10.16)
공개번호/일자 10-1995-0021337 (1995.07.26) 문서열기
공고번호/일자 (19980402) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.12.27)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김윤태 대한민국 대전직할시유성구
2 전치훈 대한민국 대전직할시유성구
3 정기로 대한민국 대전직할시대덕구
4 박희복 대한민국 대전직할시대덕구
5 임태영 대한민국 대전직할시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.12.27 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149986-12
2 특허출원서
Patent Application		 1993.12.27 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149984-21
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.12.27 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149985-77
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.02.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149987-68
5 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.03.21 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149988-14
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1997.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0072046-30
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1997.06.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149990-06
8 의견서
Written Opinion		 1997.06.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149989-59
9 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.07.29 수리 (Accepted) 1-1-1993-0149991-41
10 등록사정서
Decision to grant		 1997.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0072047-86
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

면(facet)의 정중앙 센터라인(113)에 수광소자(112)가 설치된 다각면을 갖는 플랫폼(110)과 ; 상기 플랫폼(110)의 중앙부에 설치되는 웨이퍼 반송로봇(100)의 앤드 이펙터(end effector)를 지지하는 전단아암(103)의 하단에 발광소자(107)가 설치됨을 특징으로 하는 클러스터 장비용 웨이퍼 반송장치

2 2

플랫폼(ll0)의 각 면(facet)의 정중앙에 수광소자(l12)를 설치하고, 웨이퍼 반송로봇(100)의 앤드 이펙터(end effector)를 지지하는 아암(arm) 하단에 가시광선을 광원(Visible Light Source)으로 하는 발광소자(107)를 설치하여 이 빛이 일정한 각도로 각 면(facet)의 중앙을 비추게 하여 수광소자(112)의 수광량에 따라 정렬을 수행하게 하는 것을 특징으로 하는 클러스터 장치용 웨이퍼 반송장치의 정렬방법

3 3

제 2 항에 있어서, 로봇이 최초 입력된 각 면(facet)의 중심좌표까지 이동하여 정렬을 수행하고, 이곳에서 발광소자(107)의 빔에 의해 정확한 정렬의 여부가 제어기에 의해 판단되고, 정확한 위치정렬이 이뤄지지 못하면, 웨이퍼 반송로봇(100)의 좌우 미세회전에 의해 정렬을 수행하게 하여 정렬이 완료된 후에는 발광소자(107)의 빔은 더이상 적용하지 않도록 함을 특징으로 하는 클러스터 장치용 웨이퍼 반송장치의 정렬방법

4 4

제 2 항에 있어서, 웨이퍼 반송로봇(l00)의 회전시 감지되는 각 면(facet)의 위치에 의해 현재의 웨이퍼반송로봇(lOO)의 위치를 알 수 있게 하여, 최초의 정렬에 의해 주어지는 각 면(facet)의 위치좌표로의 이동에 오차가 발생하더라도 제어기가 현재의 위치를 감지하여 이 오차를 극복할 수 있게 하는 것을 특징으로하는 클러스터 장치용 웨이퍼 반송장치의 정렬방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.