| 1 |
1
X,Y방향 리니어 모터(18,19)로 구동되는 X,Y방향 조동부(8,9)와, 링형태의 압전소자(23)로 구동되는 X,Y,Z,ψ미동부(10)의 이중구조로 되어 있고, 정압 안내방식인 공기베어링을 X,Y방향 조동부(8,9)의 측면에 가이드용의 X,Y방향 공기베어링(12,15), 하부에 지지용의 공기베어링(12,15)를 도입하여 X,Y,Z,ψ방향의 위치제어가 가능하여 확대오차, 사다리꼴 오차, 회전오차가 개선되도록 구성한 것을 특징으로 하는 축소투영 노광장치용 이중구조 레티클 구동계
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, Y방향 조동부(9) 위에 놓여진 X,Y,Z,ψ 미동부(10) 하부에 3개의 링형태의 압전소자(23d,23e,23f)와 그에 따른 각각의 엔코더들을 이등변 삼각형으로 배치하여 무게 균형과 Z 및 (α,β)방향으로 구동되도록 X,Y,Z,ψ 미동부(10)를 조합한 것을 특징으로 하는 축소투영 노광장치용 이중구조 레티클 구동계
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 링형태의 압전소자(23b,23c)을 대각선 방향으로 설치하여 레티클(3)이 놓여진 레티클 받침대(26)가 있는 핀(plate)을 탄성 힌지스프링(25)의 역할로 시계 및 반시계 방향으로 회전시킬 수 있고, 다른 압전소자(23a)로 보완하도록 하는 미동부를 구성한 것을 특징으로 하는 축소투영 노광장치용 이중구조 레티클 구동계
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, X방향의 미세이동은 링형태의 압전소자(23a,23b), Y방향의 미세 이동은 링형태의 압전소자(23)로 탄성 힌지스프링(25)와 함께 X,Y방향으로 미소변위가 제거되도록 미동부(10)를 구성한 것을 특징으로 하는 축소투영 노광장치용 이중구조 레티클 구동계
|
