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유기금속버브러구조

  • 기술번호 : KST2015074341
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화합물 반도체 에피성장 장비인 유기금속 기상결정 성장장치의 유기금속 공급부위에 사용되는 유기금속을 담는 통의 구조를 개선한 유기금속 버브러(Bubbler)구조에 관한 것으로, TMIn의 증기압을 안정시켜 재현성이 향상된 반도체 결정을 성장하는데 용이하도록 한 유기금속 버브러(Bubbler)구조로서 버브러몸통(5)의 내부를 유입부(9)와 배출부(10)로 구분하여 그 사이를 막아 분리한 분리막(7)을 설치하되 상기 분리막(7)의 하부에는 상기 유입부(9)와 배출부(10)가 서로 통할 수 있도록 구멍(8)을 형성하여 줌을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/208 (2006.01)
CPC C23C 16/4482(2013.01) C23C 16/4482(2013.01)
출원번호/일자 1019930029094 (1993.12.22)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0119279-0000 (1997.07.30)
공개번호/일자 10-1995-0020999 (1995.07.26) 문서열기
공고번호/일자 (19970930) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.12.22)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 대전직할시유성구
2 오대곤 대한민국 대전직할시유성구
3 이승원 대한민국 대전직할시유성구
4 이중기 대한민국 대전직할시유성구
5 장동훈 대한민국 대전직할시유성구
6 황인덕 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1993-0145828-24
2 특허출원서
Patent Application		 1993.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1993-0145827-89
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1993-0145829-70
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.02.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0145830-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1997.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0069316-92
6 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.21 수리 (Accepted) 1-1-1993-0145831-62
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1997.04.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0145833-53
8 의견서
Written Opinion		 1997.04.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0145832-18
9 등록사정서
Decision to grant		 1997.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0069317-37
10 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.07.28 수리 (Accepted) 1-1-1993-0145834-09
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

화합물 반도체 에피성장장비된 유기금속 기상결정 성장장치의 유기금속 공급부위에 사용되는 유기금속을 담는 통의 구조에 있어서, 기체의 흐름단면적을 증가시키기 위해 고체상태(固體狀態)의 유기금속(6)의 표면으로부터 분리된 기체 유입튜브와, 유기금속에 담가지지 않고 유기금속 표면으로부터 분리된 기체 배출튜브를 포함하는 구조의 버브러몸통(5) 구조와; 상기 버브러몸통(5)의 내부에 유입부(9)와 배출부(10)로 구분될 수 있도록 분리막(7)이 설치됨을 특징으로 하는 유기금속 버브러(Bubbler)구조

2 2

제1항에 있어서, 상기 버브러몸통(5)의 내부 분리막(7)의 하부에는 기체의 흐름을 위한 구멍(8)이 형성됨을 특징으로 하는 유기금속 버브러(Bubbler)구조

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.