좁은 공간내에서 얼라이먼트 마크(18)의 높이, 기울기, 각도 등을 미세하게 위치 조정하기 위해 지지대(6)에 얼라이먼트 마크(18)가 접착된 테이블(12)이 조립되며 3개의 지지대 암(5) 끝부분에 소형 정밀 피치를 갖도록 각각 구비된 상하 조절나사(15)와: 상기 지지대(6)에 테이블(12)이 밀착되도록 하는 압축 스프링(11)과, 상기 테이블(12)을 회전시킬수 있도록 하는 정밀 소형 피치를 갖는 각도 조정나사(16)와: 상기 테이블(12)의 높이 및 기울기를 미세조정하는 3개의 상하 조절나사(15)를 구성한 것을 특징으로 하는 소형 미세조정 장치

제1항에 있어서, 상기 상하 조절나사(15)의 움직임에 따른 지지대(6)의 떠오름 방지를 위해 강력한 영구자석(2)을 메이스 플레이트(1)에 고정시켜 지지대(6)를 끌어 당기도록 한 것을 특징으로 하는 소형 미세조정 장치

제1항에 있어서, 상기 지지대(6) 외경과 베이스 플레이트(1) 내경 및 테이블(12) 외경과 지지대(6)내경의 기계적 조립 공차로 인한 상하 혹은 회전운동시 공차에 따른 흔드림을 방지하기 위해 베이스 플레이트(1)와, 지지대(6)의 ]20°위치에 각각 2개의 구멍을 뚫어 스텐레스 볼(9,19)을 넣고 볼누름 스프링(7,20)으로 압력을 주어 유격없이 안정된 조정이 가능토록 한 것을 특징으로 하는 소형 미세조정 장치