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반도체 소자의 선폭 구현을 위하여 원본을 등배, 확대 또는 축소하여 노광시키기 위한 노광장비에 사용되는 광학계에 있어서, 광축을 중심으로 배열된 제1렌즈군(30)과, 상기 제1렌즈군을 투과한 광을 반사시키는 만진반사경(40)과, 상기 만진반사경(40)에서 반사된 광이 다시 이 만진반사경(40)의 외곽부를 투과하도록 반사시키는 전반사경(50)과, 최종적으로 상기 전반사경을 투과한 광이 기록매체에 맺히도록 하는 제2렌즈군(60)을 포함하는 노광장비의 광학계
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제1항에 있어서, 상기 제1렌즈(30)은 양 볼록렌즈인 제1번 렌즈(31)와, 볼록 오목렌즈인 제2번 렌즈(32)와, 양 오목렌즈인 제3번 렌즈(33)가 소정의 간격을 두고 순차적으로 배열된 노광장비의 광학계
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제1항에 있어서, 상기 만진반사경(40)은 중심을 반사경(41)으로 구성하고 외곽부는 보정렌즈(42)로 구성한 광학계
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제1항에 있어서, 상기 제1렌즈군(30)은 상기 전반사경(50)의 중심에 위치하는 노광장비의 광학계
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제1항에 있어서, 상기 제2렌즈군(60)은 양 볼록렌즈인 제1렌즈(61)와, 볼록 오목렌즈인 제2 및 제3, 제4렌즈(62),(63),(64) 순차적으로 배열되되 이들 렌즈의 직경이 기록매체쪽으로 갈수록 작아지도록 구성한 노광장비의 광학계
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