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두파장의적외선레이저간섭계를이용한웨이퍼온도측정장치

  • 기술번호 : KST2015074545
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 뒷면에 두 파장의 적외선을 조사할 때, 웨이퍼의 온도 변화에 따라 수반되는 두께 및 굴절율 변화로 인하여 발생하는 각각의 간섭 프린지(fringe) 위상차를 감지하여 웨이퍼의 온도를 측정하는 장치에 관한 것이다. 본 발명은 광원으로서 서로 다른 파장을 갖는 적외선을 각각 방출하는 제 1 및 제2 적외선 레이저와, 상기 적외선 레이저에서 방출된 적외선들을 웨이퍼가 장착된 진공챔버내로 입사시키기 위해 챔버벽에 형성된 광학창과, 이 광학창을 투과한 레이저빔이 웨이퍼 후면에 입사되도록 레이저 빔의 광경로를 조정하기 위한 프리즘과, 상기 광학창을 통하여 웨이퍼에서 반사된 빔을 반사시키기 위한 폴라라이저(polarizer)와, 상기 폴라라이저에서 반사된 빔을 파장별로 분리하기 위한 2색(dichroic) 빔 분리경과, 상기 2색빔 분리경을 통하여 분리된 적외선들을 각각 감지하기 위한 적외선 센서 및 상기 적외선 센서들에서 감지된 각각의 간섭 프린지(fringe) 위상차를 비교하는 위상 비교기(phase comparator)를 구비하여 웨이퍼 전면의 상태와 관계없이 공정중에 in-situ, 비접촉으로 웨이퍼 온도와 아울러 온도의 증, 감소 방향을 측정할 수 있다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 22/30(2013.01) H01L 22/30(2013.01)
출원번호/일자 1019940031730 (1994.11.29)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0149886-0000 (1998.06.10)
공개번호/일자 10-1996-0019638 (1996.06.17) 문서열기
공고번호/일자 (19990415) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.11.29)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최부연 대한민국 대전직할시대덕구
2 이종현 대한민국 대전직할시유성구
3 장기호 대한민국 대전직할시유성구
4 장원익 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1994.11.29 수리 (Accepted) 1-1-1994-0143105-21
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.11.29 수리 (Accepted) 1-1-1994-0143107-12
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.11.29 수리 (Accepted) 1-1-1994-0143106-77
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.07 수리 (Accepted) 1-1-1994-0143108-68
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.20 수리 (Accepted) 1-1-1994-0143109-14
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.02.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0079882-25
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.03.25 수리 (Accepted) 1-1-1994-0143111-06
8 의견서
Written Opinion		 1998.03.25 수리 (Accepted) 1-1-1994-0143110-50
9 등록사정서
Decision to grant		 1998.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0079884-16
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

고진공을 유지하는 반도체 식각장비내의 웨이퍼 또는 기판의 온도를 측정하기 위한 웨이퍼 온도 측정장치에 있어서, 광원으로서 서로 다른 파장을 갖는 적외선을 각각 방출하는 제1 및 제2적외선 레이저; 상기 적외선 레이저에서 방출된 적외선들을 웨이퍼가 장착된 진공챔버내로 입사시키기 위한 챔버벽에 형성된 광학창과, 이 광학창을 투과한 레이저빔이 웨이퍼 후면에 입사되도록 레이저 빔의 광경로를 조정하기 위한 프리즘; 상기 광학창을 웨이퍼에서 반사된 빔을 반사시키기 위한 폴라라이저(polarizer); 상기 폴라라이저에서 반사된 빔을 파장별로 분리하기 위한 2색(dichroic) 빔 분리경; 상기 2색빔 분리경을 통하여 분리된 적외선들을 각각 감지하기 위한 적외선 센서; 및 상기 적외선 센서들에서 감지된 간섭 프린지(fringe) 위상차를 비교하는 위상 비교기(phase comparator)를 구비하여 웨이퍼 전면의 상태와 관계없이 공정중에 인-시튜(in-situ), 비접촉식으로 웨이퍼 온도와 아울러 온도의 증, 감소 방향을 측정할 수 있는 웨이퍼 온도 측정장치

2 2

제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2적외선 레이저의 광원으로서 상기 웨이퍼 또는 기판으로 사용된 반도체의 에너지 갭보다 작은 에너지에 해당하는 파장을 갖는 적외선을 사용하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 온도 측정장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.