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ECR 플라즈마 장치

  • 기술번호 : KST2015074548
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 ECR 플라즈마 장치에 있어서 균일한 플라즈마 밀도를 얻을 수 있도록 하기 위한 ECR 플라즈마 장치의 마그네트 구조 및 마그네트 배열방법에 관한 것으로 종래의 동일 구조의 마그네트 형태로는 ECR 공진층인 875gauss의 등자력선의 분포가 볼록렌즈 효과와 같은 현상이 나타나 플라즈마 밀도가 중심부가 가장 밀하고 자장자리에서 약해서 대면적 웨이퍼 처리시 문제가 있었으나 이러한 문제점을 개선하기 위하여 안출된 본 발명에서는 자장분포가 8인치 이상의 균일성을 가진 플라즈마 발생을 일으킬 수 있는 ECR 플라즈마장치의 마그네트 구조 및 배열 방법으로서 주마그네트와 부마그네트의 형태와 크기를 다르게 구성하여 균일성을 갖도록 하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC H01J 37/32678(2013.01) H01J 37/32678(2013.01)
출원번호/일자 1019940036363 (1994.12.23)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1996-0026135 (1996.07.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.12.23)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이응직 대한민국 대전직할시유성구
2 이원종 대한민국 대전직할시유성구
3 백종태 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1994.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1994-0163997-88
2 출원심사청구서
Request for Examination
1994.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1994-0163998-23
3 특허출원서
Patent Application
1994.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1994-0163996-32
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1997.04.21 수리 (Accepted) 1-1-1994-0163999-79
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1997.08.21 수리 (Accepted) 1-1-1994-0164000-73
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1998.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0091100-33
7 의견서
Written Opinion
1998.04.30 수리 (Accepted) 1-1-1994-0164002-64
8 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
1998.04.30 수리 (Accepted) 1-1-1994-0164001-18
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1998.04.30 수리 (Accepted) 1-1-1994-0164003-10
10 거절사정서
Decision to Refuse a Patent
1998.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0091101-89
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

ECR 플라즈마를 발생시킬 수 있도록 마이크로파(2

2 2

제1항에 있어서, 주마그네트(100)의 폭의 두께는 부마그네트(200) 보다 2배 이상으로 마그네트형태를 구성함을 특징으로 하는 ECR 플라즈마장치의 마그네트 구조

3 3

ECR 플라즈마를 발생시킬 수 있는 공진층은 마이크로파(2

4
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.