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표면분석을위한시료이송장치

  • 기술번호 : KST2015074557
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 시료의 표면분석 장비에 관한 것으로 구체적으로는 건식 세정된 시료를 오염없이 표면 분석 장비내로 이송하기 위한 시료 이송장치에 관한 것이다. 종래의 세정 방법중 습식세정 방법은 화학약품의 사용으로 인해 위험도 및 금속오염의 증가를 유발한다는 문제점이 있었다. 이를 대체하기 위한 건식 세정 방법은 세정후 공기노출에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하는 것이 관건이었다.본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 건식세정후 웨이퍼의 공기노출에 의한 오염 가능성을 배제하는 (시료 장입수단과, 기밀유지수단, 진공수단을 구비한 시료이송장치를 형성하여) 세정분위기(cleaning gas atmosphere) 또는 불활성 가스 분위기(inert gas atmosphere) 하에서 YPS나 AES등의 고진공 분석장비로 시료를 이송할 수 있도록 하여 건식 세정 공정의 진성기구(intrinsic mechanism)연구가 가능할 수 있도록 한 것이다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC G01N 35/10(2013.01) G01N 35/10(2013.01) G01N 35/10(2013.01)
출원번호/일자 1019940033481 (1994.12.09)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0139726-0000 (1998.03.05)
공개번호/일자 10-1996-0026309 (1996.07.22) 문서열기
공고번호/일자 (19980715) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.12.09)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박형호 대한민국 대전직할시유성구
2 조경익 대한민국 대전직할시유성구
3 김경수 대한민국 대전직할시서구
4 이춘수 대한민국 대전직할시유성구
5 백종태 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.12.09 수리 (Accepted) 1-1-1994-0150657-76
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.12.09 수리 (Accepted) 1-1-1994-0150656-20
3 특허출원서
Patent Application		 1994.12.09 수리 (Accepted) 1-1-1994-0150655-85
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.09 수리 (Accepted) 1-1-1994-0150658-11
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.20 수리 (Accepted) 1-1-1994-0150659-67
6 등록사정서
Decision to grant		 1998.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0084056-57
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

시료의 건식 세정 공정후 불활성 가스 분위기로 유지되는 글로브 박스(glove box)내에서 시료를 채취하여 고진공 표면분석 장비로 이송하기 위한 시료이송 장치에 있어서, 내부에 시료 홀더를 지지하는 시료 홀더지지대와 하부에 시료 이송 수단에 연결되는 장착봉을 구비하고 일측이 개방된 시료 장입통과, 상기 시료 장입통의 개방된 면에 씌어지는 시료 장입통커버와; 상기 시료 장입통 내부의 분위기를 유지시키기 위한 기밀 유지수단과, 시료 투입구의 진공처리시 상기 장입통 내부를 진공시키는 진공수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면분석을 위한 시료 이송장치

2 2

제1항에 있어서, 상기 기밀유지 수단은 상기 시료장입통의 개방측 둘레에 고정한 0-링과, 소정크기의 금속박판을 사용하되 이 금속박판을 상기 시료장입통의 개방측에 씌운후 상기 장입통 커버를 덮어 시료 장입통 내부가 밀봉되게 하는 것을 특징으로 하는 표면분석을 위한 시료이송장치

3 3

제1항에 있어서, 상기 진공수단은 상기 장입통 커버에 칼날부재를 두어 시료투입구 내의 진공 처리시 상기 시료장입통의 기밀유지수단인 금속박막이 압력차에 의해 부풀어 올라 상기 칼날부재에 찢기어 개방되어 진공처리 되도록 한 것을 특징으로 하는 표면분석을 위한 시료 이송장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.