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주사전자현미경의단면시료제작방법

  • 기술번호 : KST2015074601
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 주사전자 현미경(Scanning Electron Microscope)을 이용하여 시료내 특정부위의 단면을 관찰하기 위한 특정부위 단면시료 제작방법에 관한 것이다.종래의 단면시료 제작방법은 관찰하고자 하는 부위가 작을 경우 정확히 전달하기가 불가능하였으며, 특정부위의 단면시료는 원하는 부위까지 기계적으로 연마할때 시료의 연마된 부위가 손상되는 문제점들이 있었다,본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 주사전자 현미경으로 관찰하고자 하는 부위를 4×5㎜로 절단하여 슬라이드 유리로 보호한 후 트리포드로 연마하는 수동적 기계연마 공정과, 상기 공정 후 트리포드 시료지지대를 딤플기의 시료지지대에 장착하여 딤플연마하는 공정과, 상기 공정 후 트리포드 시료지지대를 이온연마기의 시료지지대에 장착하여 이온연마하는 공정을 포함하여 손상되지 않는 단면시료를 제작하도록 하였다.
Int. CL H01L 21/00 (2006.01)
CPC G01N 1/32(2013.01) G01N 1/32(2013.01)
출원번호/일자 1019940032653 (1994.12.03)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1996-0026065 (1996.07.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.12.03)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 남산 대한민국 대전직할시서구
2 조경익 대한민국 대전직할시유성구
3 김경수 대한민국 대전직할시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.12.03 수리 (Accepted) 1-1-1994-0146953-36
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.12.03 수리 (Accepted) 1-1-1994-0146954-82
3 특허출원서
Patent Application		 1994.12.03 수리 (Accepted) 1-1-1994-0146952-91
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.07 수리 (Accepted) 1-1-1994-0146955-27
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.20 수리 (Accepted) 1-1-1994-0146956-73
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0082098-17
7 의견서
Written Opinion		 1998.03.09 수리 (Accepted) 1-1-1994-0146957-18
8 의견서
Written Opinion		 1998.03.09 수리 (Accepted) 1-1-1994-0146958-64
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.03.09 수리 (Accepted) 1-1-1994-0146959-10
10 거절사정서
Decision to Refuse a Patent		 1998.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0082099-63
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

관찰하고자 하는 시료를 소정 크기로 절단한 후 슬라이드 유리로 보호하여 트리포드를 이용하여 시료를 연마하는 수동적 기계연마 공정과, 상기 수동적 기계연마 공정을 마친 시료가 장착된 트리포드 시료지지대를 딤플연마기의 시료지지대(10)에 직접 장착하여 시료의 원하는 부위까지 연마하는 딤플연마공정과, 상기 딤플 연마 공정 후 시료가 장착된 상기 트리포드 시료지지대를 이온연마기의 시료지지대(20)에 장착하여 기계연마공정에서 발생한 시료의 손상된 부위를 제거하는 이온연마 공정을 포함하는 주사전자 현미경의 단면시료 제작방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 딤플연마기의 시료지지대는 상기 트리포드 시료지지대가 삽입되는 이 트리포드 시료지지대와 동일한 직경의 구멍(11)을 구비하되 이 구멍과 편심을 갖는 소정크기의 원통으로 형성한 주사전자 현미경의 단면시료 제작방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 이온연마기의 시료지지대(20)는 상기 트리포드 시료지지대에 장착된 시료이온 연마시 아르곤 빔의 중앙에 위치하도록 장착하는 주사전자 현미경의 단면시료 제작방법

4
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.