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초음파를이용한기판의식각잔유물제거장치

  • 기술번호 : KST2015074640
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체소자를 제조할 때 건식식각공정에서 식각 잔유물을 효율적으로 제거하기 위하여 공정 중 기판에 초음파를 인가하여 소자의 기능을 살리고 수율을 향상시키기 위하여 식각 공정중인 기판에 초음파를 인가하는 방법 및 그 장치를 제공한다.본 발명은 상술한 작용으로 반도체 제조공정시 건식식각공정에서 발생하는 잔유물인 폴리머를 식각표면으로부터 초음파를 이용하여 효율적으로 제거하여 기존의 공정에서 제거하기 어려워 소자의 실패의 원인이었던 것을 공정 중에 동시에 제거하므로써 소자의 기능을 원활히 할 수 있어서 소자의 수율을 증대할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01)
출원번호/일자 1019940023879 (1994.09.22)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0148035-0000 (1998.05.21)
공개번호/일자 10-1996-0012343 (1996.04.20) 문서열기
공고번호/일자 (19981102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.09.22)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재진 대한민국 대전직할시유성구
2 이해권 대한민국 대전직할시유성구
3 김경수 대한민국 대전직할시서구
4 박형무 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전직할시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.09.22 수리 (Accepted) 1-1-1994-0108366-65
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.09.22 수리 (Accepted) 1-1-1994-0108367-11
3 특허출원서
Patent Application		 1994.09.22 수리 (Accepted) 1-1-1994-0108365-19
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.03 수리 (Accepted) 1-1-1994-0108368-56
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.19 수리 (Accepted) 1-1-1994-0108369-02
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1997.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0060821-17
7 의견서
Written Opinion		 1998.02.18 수리 (Accepted) 1-1-1994-0108370-48
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.02.18 수리 (Accepted) 1-1-1994-0108371-94
9 등록사정서
Decision to grant		 1998.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0060822-63
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
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반도체장치 제조를 위한 건식식각시의 식각 장유물을 제거하기 위한 장치에 있어서, 피식각물인 기판의 후면에 형성된 초음파 진동자; 상기 초음파 진동자를 구동시킴과 동시에 상기 기판과 초음파 진동자를 지지하는 지지대의 역할을 수행하는 전극; 상기 초음파 진동자를 기판에 밀착시키기 위하여 상기 전극의 소정부위에 형성된 누름스프링; 및 상기 초음파 진동자와 전극을 강하게 접촉시키기 위하여 초음파 진동자와 전극사이에 형성된 밀착스프링으로 구성됨을 특징으로 하는 초음파를 이용한 기판의 식각잔유물 제거장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.