| 1 |
1
웨이퍼(300)의 측면부위를 잡을 수 있도록 구성된 파지수단과 상기 파지수단을 작동시키는 작동수단과 상기 파지수단의 동작시 오동작을 감지하는 감지수단을 포함하는 웨이퍼 운송장치와, 상기 웨이퍼운송장치에 의해 웨이퍼 이송작업이 이루어지며, 공정가스의 흐름이 축대칭성을 유지할 수 있도록 웨이퍼척의 하부에 진공배기구(220)가 설치된 진공반응기로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 웨이퍼 운송장치의 파지수단은 작동수단에 의하여 벌어지거나 오므라지는 집게손가락(110)과 상기 집게손가락(110)의 양극 선단 및 중앙팁지지대(102)에 각각 설치된 웨이퍼접촉용팁(120)으로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서, 파지수단의 집게손가락(110)중 일측은 고정되고, 다른 일측만 작동되도록 함을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 4 |
4
제2항에 있어서, 웨이퍼접촉용팁(120)의 하측에는 웨이퍼(300)의 측면을 안정하게 잡을 수 있도록 원형홈(121)이 형성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 5 |
5
제2항에 있어서, 웨이퍼접촉용팁(120)의 하단에는 웨이퍼(300)의 바깥쪽 아랫면을 잡을 수 있도록 집게턱(122)이 형성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 6 |
6
제2항에 있어서, 중앙팁지지대(102)에 설치된 웨이퍼접촉용팁(120)은 파지함과 동시에 일측이 직선면(301)을 갖는 웨이퍼(300)가 자동으로 정렬이 이루어지도록 직육면체로 구성함을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 7 |
7
제2항, 또는 제6항에 있어서, 중앙팁지지대(102)에 설치되는 웨이퍼접촉용팁(120)은 웨이퍼 (300)의 정렬이 이루어지도록 2개 설치됨을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 8 |
8
제2항에 있어서, 집게손가락(110)의 폭은 웨이퍼(300)를 적층하는 카셋트의 내부폭보다 작도록 오므라질 수 있으며, 상기 집게손가락(110)의 양극 선단과 중앙팁지지대(102)에 각각 설치된 웨이퍼접촉용팁(120)의 두께는 웨이퍼(300)사이의 간격보다 작도록 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 9 |
9
제2항에 있어서, 집게손가락(110)의 과도한 벌어짐이나 과도한 오므라짐을 방지하도록 지지대(100)에는 웨이퍼얹음용막힘자(103)와 이완용막힘자(104)가 설치됨을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 10 |
10
제1항에 있어서, 웨이퍼운송장치의 감지부는 집게손가락(110)의 작동레버(113)에 의한 빛의 차단여부를 감지하는 광센서(160)를 구비함을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 11 |
11
제1항에 있어서, 웨이퍼운송장치의 작동수단은 집게구동기(130)와, 상기 집게구동기(130)의 로드(131)에 의하여 직선운동하는 집게구동용이동자(132)와, 상기 로드(131)에 끼워진 압축스프링(140) 및 집게손가락(110)의 작동 레버(113)에 연결된 인장스프링(150)으로 구성됨을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 12 |
12
제11항에 있어서, 작동수단의 집게구동기(130)는 솔레노이드임을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
| 13 |
13
제1항에 있어서, 진공반응기에 설치된 웨이퍼척(210)의 연직 하방에 진공배기구(220)와 진공펌프(221)가 설치됨을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치
|
