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반도체제조장비의웨이퍼장착카세트

  • 기술번호 : KST2015074813
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체소자 제조장치에 사용되는 웨이퍼 장착카세트에 관한 것으로, 특히, 웨이퍼의 크기에 제약됨이 없이, 소정 범위내에서 여러가지 크기의 웨이퍼를 장입할 수 있는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트에 관한 것이다.종래의 웨이퍼 장착카세트는 크기가 다른 웨이퍼를 다룰 때에는 제조장치내의 모든 도구를 교체해야 하는 문제점들이 있었다.본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 여러크기의 웨이퍼를 동시에 각각 장입할 수 있도록 복수개의 단턱을 갖는 적어도 2개 이상의 선반과, 이 선반을 지지하는 선반고정수단으로 구성한다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/6732(2013.01)
출원번호/일자 1019940012215 (1994.05.31)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0135049-0000 (1998.01.09)
공개번호/일자 10-1995-0034650 (1995.12.28) 문서열기
공고번호/일자 (19980420) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.05.31)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이경수 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 서울특별시 강남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.05.31 수리 (Accepted) 1-1-1994-0056148-65
2 특허출원서
Patent Application		 1994.05.31 수리 (Accepted) 1-1-1994-0056147-19
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.05.31 수리 (Accepted) 1-1-1994-0056149-11
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1994.07.12 수리 (Accepted) 1-1-1994-0056150-57
5 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.03.21 수리 (Accepted) 1-1-1994-0056151-03
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1997.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0031608-29
7 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.19 수리 (Accepted) 1-1-1994-0056152-48
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1997.08.20 수리 (Accepted) 1-1-1994-0056153-94
9 의견서
Written Opinion		 1997.09.18 수리 (Accepted) 1-1-1994-0056154-39
10 의견서
Written Opinion		 1997.09.18 수리 (Accepted) 1-1-1994-0056155-85
11 등록사정서
Decision to grant		 1997.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0031609-75
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

반도체의 공정장비중 복수개의 웨이퍼를 장착하여 공정을 진행하기 위한 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트에 있어서, 상기 웨이퍼의 크기에 상관없이 수용할 수 있는 선반수단과, 상기 선반수단을 소정 간격으로 적어도 2개 이상 고정할 수 있는 선반고정수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트

2 2

제1항에 있어서, 상기 선반수단은 상부에 서로 다른 직경을 갖는 웨이퍼를 각각 장착할 수 있도록 형성한 단턱(11)과, 일측이 소정길이 연장되어 상기 선반고정수단에 연결고정되는 연결편(12)을 구비한 한쌍의 선반(10)으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트

3 3

제2항에 있어서, 상기 단턱(11)은 장착되는 웨이퍼의 직경과 일치하는 원호형상을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트

4 4

제1항에 있어서, 상기 선반고정수단은 상기 선반의 연결편(12)이 삽입되어 고정되는 복수개의 요홈(21)을 구비한 대립된 구조의 한쌍의 지지프레임(20)과, 상기 지지프레임을 연결고정하는 고정프레임(30)으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 웨이퍼 장착카세트

5
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP02702080 JP 일본 FAMILY
2 JP07326657 JP 일본 FAMILY
3 US05577621 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2702080 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP7326657 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 JPH07326657 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 US5577621 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.