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클러스터장비용반송모듈의고진공압력제어방법및장치

  • 기술번호 : KST2015074814
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비(cluster tool)에 관한 것으로 특히 클러스터 장비용 반송모듈의 웨이퍼 운송시 발생되는 오차값들이 자동유량조절기에 피드백(feedback)되는 디지탈 PID 방법을 이용한 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력 제어방법 및 장치에 관한 것이다.반송모듈의 주위에 부착된 카세트모듈 또는 공정모듈과의 웨이퍼운송시 고진공 압력 제어기능이 없으면 사각밸브의 개폐시 두 모듈내의 압력차에 의한 흐름형성으로 인하여 먼지발생(particle generation)이나 여러가지 반응가스의 역류(backstreaming)에 의해 반송모듈이 오염 (contamination)되며, 사각밸브의 개페시 22.5 mtorr로 규정된 최대 압력차보다 큰 압력차로 인하여 밸브수명이 단축되는 문제점을 해결하기 위하여 고진공 센서에서 나오는 이전의 3개의 오차값과 현재의 오차값인 4개의 오차값들이 자동유량 조절기에 피드백(feedback)되는 디지탈 PID 알고리즘(algorithm)을 사용하여 10-4에서 10-5torr 범위의 고진공 압력을 제어하는 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력제어방법 및 장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1019940025177 (1994.09.30)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0135032-0000 (1998.01.09)
공개번호/일자 10-1996-0012418 (1996.04.20) 문서열기
공고번호/일자 (19980420) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.09.30)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장원익 대한민국 대전직할시유성구
2 정기로 대한민국 대전직할시대덕구
3 이종현 대한민국 대전직할시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1994.09.30 수리 (Accepted) 1-1-1994-0114118-45
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1994.09.30 수리 (Accepted) 1-1-1994-0114117-00
3 특허출원서
Patent Application		 1994.09.30 수리 (Accepted) 1-1-1994-0114116-54
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.03 수리 (Accepted) 1-1-1994-0114119-91
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.19 수리 (Accepted) 1-1-1994-0114120-37
6 등록사정서
Decision to grant		 1997.12.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0064053-52
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비(cluster tool)에 있어서, 클러스터 장비의 진공배기계는 각 모듈(1, 4, 5)에 각각 설치되어 있으며, 고진공센서(16), 저진공센서(17), 격리밸브(18), 터보펌프(19), 진공밸브(20), 보조펌프(21)순으로 구성된 것으로 웨이퍼 운송시 상기 고진공 센서(16)에서 나오는 신호중 이전의 3개의 오차값과 현재의 오차값인 4개의 오차값들이 고려된 디지탈 PID 압력제어방법으로 고진공 반송압력을 조절하도록 구성된 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력 제어장치

2 2

반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비(cluster tool)를 구성하는 고진공 센서(16)에서 나오는 신호중 이전의 3개의 오차값과 현재의 오차값인 4개의 오차값들이 고려된 디지탈 PID 압력제어방법으로 질소의 유량을 10sccm 이하로 조절하도록 자동유량조절기(15)에 피드백(feedback)함으로써 10초 이내에 10-4에서 10-5torr 범위의 고진공 반송압력으로 조절하도록 함을 특징으로 하는 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력 제어방법

3 3

제2항에 있어서, 디지탈 PID 압력제어 방법을 사용할 때 질소가스가 아닌 불활성 가스를 사용하여 고진공 압력이 제어되도록 함을 특징으로 하는 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력 제어방법

4 4

제2항에 있어서, 고진공센서(16)에서 나오는 신호는 클러스터 모듈제어기(23)의 아날로그/디지탈 변환기로 받아 디지탈 PID알고리즘으로 출력을 계산한 다음 계산된 값은 디지탈/아날로그 변환기를 거쳐 자동유량 조절기(15)로 피드백(feedback)하여 질소의 유량조절에 의한 10-4에서 10-5torr 범위의 고진공 압력을 제어하도록 하는 클러스터 장비용 반송모듈의 고진공 압력 제어방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.