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플리머를 다층으로 적층하기 위한 방법

  • 기술번호 : KST2015074842
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음.
Int. CL H01L 21/768 (2006.01)
CPC G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01)
출원번호/일자 1019940035056 (1994.12.19)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 케이티
등록번호/일자 10-0152212-0000 (1998.06.25)
공개번호/일자 10-1996-0026627 (1996.07.22) 문서열기
공고번호/일자 (19981201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1994.12.19)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한선규 대한민국 대전시서구
2 이명현 대한민국 대전시유성구
3 김혜영 대한민국 대전시유성구
4 원요협 대한민국 대전시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1994.12.19 수리 (Accepted) 1-1-1994-0157843-70
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1994.12.19 수리 (Accepted) 1-1-1994-0157844-15
3 출원심사청구서
Request for Examination
1994.12.19 수리 (Accepted) 1-1-1994-0157845-61
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1997.04.07 수리 (Accepted) 1-1-1994-0157846-17
5 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
1997.09.08 수리 (Accepted) 1-1-1994-0157847-52
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1998.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0087964-14
7 의견서
Written Opinion
1998.04.27 수리 (Accepted) 1-1-1994-0157849-43
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1998.04.27 수리 (Accepted) 1-1-1994-0157850-90
9 의견서
Written Opinion
1998.04.27 수리 (Accepted) 1-1-1994-0157848-08
10 등록사정서
Decision to grant
1998.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1994-0087965-59
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0010652-29
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2000-0005008-66
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2002-0032774-13
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.03.13 수리 (Accepted) 4-1-2009-5047686-24
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2010-5068437-23
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2012-5005621-98
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5058926-38
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5122434-12
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5106568-91
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018159-78
24 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

다층 박막 플리머 소자를 제조하기 위하여 플리머를 다층으로 적층하는 방법에 있어서, 소정공정이 완료된 기판 상에 제1 플리머를 입히는 단계; 상기 제1 플리머를 열처리하는 단계; 상기 제1 플리머 표면을 이온식각하는 단계; 및 상기 이온식각된 제1 플리머 상에 제2 플리머를 입히는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플리머를 다층으로 적층하는 방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 이온식각은 CHF3, CHF4, O2, 및 He 중 적어도 어느 하나 이상의 가스를 사용하는 것을 특징으로 하는 플리머를 다층으로 적층하는 방법

3 3

제1항에 있어서, 상기 이온식각은 CHF3, CHF4, O2, Ar중 적어도 어느하나 이상이 가스를 사용하는 것을 특징으로 하는 플리머를 다층으로 적층하는 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.