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레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막의형성방법

  • 기술번호 : KST2015074927
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막의 형성방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명의 레이저 어블레이션(laser ablation) 방법으로 기판 상에 다이아몬드 박막을 형성시 외부에서 기판 상에 원자 수소빔(atomic hydrogen beam)을 공급하여 양질의 다이아몬드 박막을 형성하는 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법은, 엑시머 레이저(1)로부터 발생된 레이저빔을 그래파이트 타겟(2)에 조사하고, 레이저빔의 조사에 의해 튀어나온 입자들을 기판 가열기(3) 위에 위치한 기판(4) 상에 증착시켜 다이아몬드 박막을 형성하는 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법에 있어서, 상기한 증착과정 중에 별도의 원자수소 공급수단(5)을 사용하여 기판(4) 상에 원자 수소빔을 공급하는 과정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/31 (2006.01)
CPC C23C 14/0611(2013.01) C23C 14/0611(2013.01)
출원번호/일자 1019950050512 (1995.12.15)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0160581-0000 (1998.08.19)
공개번호/일자 10-1997-0052803 (1997.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (19990201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.12.15)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 하정숙 대한민국 대전광역시 유성구
2 박성주 대한민국 대전광역시 유성구
3 박강호 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 원혜중 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 서울빌딩 *층 (역삼동)
3 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
4 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1995.12.15 수리 (Accepted) 1-1-1995-0196255-26
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.12.15 수리 (Accepted) 1-1-1995-0196257-17
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.12.15 수리 (Accepted) 1-1-1995-0196256-72
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.25 수리 (Accepted) 1-1-1995-0196258-63
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.22 수리 (Accepted) 1-1-1995-0196259-19
6 등록사정서
Decision to grant		 1998.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0103742-96
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

엑시머 레이저로부터 발생된 레이저빔을 그래파이트 타겟에 조사하고, 레이저빔의 조사에 의해 튀어나온 입자들을 기판 가열기 위에 위치한 기판 상에 증착시켜 다이아몬드 박막을 형성하는 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법에 있어서, 상기한 증착과정 중에 별도의 원자수소 공급수단을 사용하여 기판 상에 원자 수소빔을 공급하는 과정을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막의 형성방법

2 2

제1항에 있어서, 상기한 원자수소 공급수단으로는 수소분자를 가열된 금속 필라멘트에 충돌시켜 원자수소를 발생시키는 장치를 사용하거나, 수소분자를 가열된 금속 노즐벽에 충돌시켜 원자수소를 발생시키는 장치를 사용하는 것을 특징으로 하는 레이저 어블레이션 방법에 의한 다이아몬드 박막 형성방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.