집게손가락(110)의 끝단부와 몸체의 선단부에 각각 웨이퍼접촉용 팁(120)이 구비되고, 집게구동기(130)를 포함하는 작동수단에 의해 작동되어 상기 집게손가락(110)이 개폐되면서 웨이퍼의 측면을 파지하도록 한 웨이퍼 측면파지 이송용 집게에 있어서, 상기 작동수단은 양측의 집게손가락(110)의 작동축을 구동하는 풀리(220),(221)를 동시, 동일각도로 함께 연동되도록 하는 연동부재와; 상기 집게구동기(130)에 의해 구동되며, 상기 양측 풀리(220),(221)에 결합되어 집게손가락(110)을 벌리는 기능을 하는 구동용 스틸밸트(200)와; 상기 집게손가락(110)의 양측 사이에 연결되고 집게손가락(110)이 오므라들도록 탄성력을 작용하여 웨이퍼(300)를 잡을 수 있도록 하는 인장스프링(150)을 구성요소로 하여 양측의 회전축이 서로 반대 방향으로 일정한 각도 연동하여 집게손가락(110)의 좌우방향(190)으로 강성을 증가시킴으로서 운송가속도 및 속도에 대한 사용한계를 확대하도록 함을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송용 집게의 구동기구

제1항에 있어서, 상기 연동부재는 적정간격으로 이격 설치된 양측의 풀리(220),(221)의 사이에 8자형으로 감겨 작동될 수 있도록 상,하부의 일부가 절단되고 양단에 풀리연결용 스틸밸트구멍(230)이 형성된 연동용 스틸벨트(201)임을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송용 집게의 구동기구

제1항에 있어서, 상기 연동부재는 양측의 풀리(220),(221)이 상호 밀착 설치되어 상호 마찰에 의하여 동시, 동일각도로 연동되도록 함을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송용 집게의 구동기구

제1항에 있어서, 상기 연동부재는 양측의 풀리(220),(221)의 외측면에 치차(225)를 형성하여 상호 맞물리어 동시, 동일각도로 연동되도록 함을 특징으로 하는 웨이퍼 측면파지 이송용 집게의 구동기구