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펄스 레이저를 이용한 박막 증착장치의 전열기에 있어서, 전열기(1), 기판 및 기판 지지대(2), 세라믹 열차단 로드(3), 히터 밑판(4), 방열판(5), 회전부 주 베어링(7), 회전부 주 베어링 지지축(6), 전열선 연결터미널(9), 열전대 연결 터미널(10), 회전부 주 베어링(7)과 연결된 회전부 간격유지 및 방열판(11)과 회전부 기본 밑판(12), 피동동력 전달기어(14), 회전부 형상 지지로드(13), 냉각수 공급/회수용 피팅(8) 및 셔터(21)로 구성되어, 기판의 온도 조절과 회전을 수행하기 위한 전열기부(A); 상하의 측면 지지 프레임(15,16), 윗면 결합용 지지판(17), 셔터 동작로드 지지 베어링(18), 모터 동력축 지지 베어링(19), 셔터 동작 로드(20), 능동 동력 전달축(22), 능동 동력 전달기어(23), 냉각수 공급/회수용 금속 튜브(24), 열전대선(39), 전열선(40)으로 구성되며, 진공 내에 위치하여 상기한 전열기부(A)와 진공용기 밖에 위치하는 이송부(C)를 연결지지하기 위한 지지부(B); 및, 이송부 전체 지지 플레임(32)에 부착된 이송기어(28), 이송부 동작 손잡이(29), 눈금자(30) 및 지시기(31)로 구성된 기구 동작부, 기구의 이동시 진공을 유지하면서 그 움직임을 가능하게 하는 상하 벨로우즈(25, 26), 진공의 안과 밖을 연결하는 상하부 접속 플랜지(34, 35), 진공 챔버 접속 플랜지(27), 위치 고정 중간 지지판(33), 상부 접속 플랜지(34)에 부착된 수동 로타리식 피드스루(36), 하부 접속 플랜지(35)에 연결된 스텝핑 모터(38), 열전대선용 피드스루(41) 및 전열선용 피드스루로 구성되며, 챔버챔버 접속 플랜지(27)와 이송부 전체 지지판(33)을 기준하여 상기한 기구를 전후 이동시키기 위한 이송부(C)로 구성된 것을 특징으로 하는 비접촉 회전 전열기
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