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반도체 레이저(21)와, 전기한 반도체 레이저(21)에서 방출된 레이저 광을 평행광으로 변화시키기 위한 시준렌즈(22)와, 시준렌즈(22)를 거친 레이저 광을 광분할시키는 광분할기(23)와, 광분할기(23)를 거친 레이저 광을 웨이퍼 스테이지(29) 상의 웨이퍼(25)에 입사시키기 위한 촛점렌즈(24)로 이루어진 자동촛점장치 모듈; 및, 슬릿(32)과, 슬릿(32)에 입사된 광을 회절격자(33)에 시준하기 위한 시준렌즈(32)와, 시준렌즈(32)에 의해 시준된 입사 빔의 파장에 따라 입사빔을 일정각도로 회절시키기 위한 회절격자(33)와, 회절격자(33)에 의해 회절된 광을 PSD(35) 상에 집속하기 위한 집속렌즈(34)와, PSD(35)로 구성되어, 상기한 웨이퍼(25)에 의해 반사되어 반도체 레이저(21)의 외부 광궤환에 의해서 발진하는 반도체 레이저(21)의 궤환광의 광강도변화를 전압변화로 변환하기 위한 분광부(40)와 PSD 신호처리부(50)를 포함하는 반도체 레이저의 외부 광궤환 방법을 이용한 웨이퍼 자동촛점장치
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웨이퍼 스텝퍼의 주 광학계(80) 하부에 부설되며, 반도체 레이저(21), 시준렌즈(22), 광분할기(23), 반사거울(36) 및 초점렌즈(24)로 구성된 자동촛점장치 모듈(70); 상기한 자동촛점장치 모듈(70)에 의한 웨이퍼(25)의 수직방향 위치 변화에 따른 분광부에 의한 반도체 레이저(21)의 출력 파장에 따른 스테이지의 변화를 측정하여 스테이지를 제어하기 위한 분광부(40); 및, 상기한 자동촛점장치 모듈(70)을 분광부(40)와 연결하기 위한 집속렌즈(37, 26)와 광 파이버(38)를 포함하는 반도체 레이저의 외부 광궤환 방법을 이용한 웨이퍼 자동촛점장치
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