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외부구조물; 상기 외부구조물의 내부에 구비된 진동질량; 상기 외부구조물과 상기 진동질량을 연결하는 제1 스프링; 상기 외부구조물을 지지하는 제2 스프링; 상기 제2 스프링과 연결된 두 개의 앵커로 이루어진 지지부; 상기 지지부에 연결되어 상기 진동질량에 구동력을 제공하는 가진전극으로 이루어진 가진부; 상기 제2 스프링위에 형성되어 진동질량의 상하방향의 진동크기를 검출하는 검출부; 및 상기 외부구조물과 상기 지지부의 연결부위에 장착되어 전기적으로 절연시키고 기계저긍로 결합하는 절연 접합부를 포함하여 이루어진 진동형 마이크로 자이로스코프
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상하부에 지지부가 형성되며, 상하방향으로 진동하는 외부구조물; 상기 외부구조물의 내부 중앙부에 구비되며, 가로방향으로 진동하여 외부로부터 평면에 수직한 축을 갖는 회전 각속도가 가해짐에 따라 회전속도에 비례하는 코리올리 힘을 수직방향으로 전달하는 진동질량; 상기 진동질량의 상하방향의 진동크기를 검출하는 검출부; 상기 질량의 양측에 구비되며, 그에 가로방향 정전력을 제공하는 빗살 전극; 및 상기 외부구조물의 상측 지지부 양단에 연결되며, 각기 다른 가진신호를 출력하여 진동을 발생시키도록 전극이 각각 구비된 제1 및 제2 앵커를 포함하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제2항에 있어서, 상기 외부구조물의 지지부와 진동질량을 연결하며, 상기 진동질량의 세로방향 운동을 구속하고 외부구조물에 힘을 전달하는 제1 스프링과, 상기 외부구조물과 제1 및 제2 앵커를 연결하며, 힘을 받은 상기 외부구조물이 세로방향으로 진동하도록 안내하는 제2 스프링을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제2항에 있어서, 상기 외부구조물의 상측 지지부와 제1 및 제2 앵커의 연결부위에 장착되어 전기적으로 절연시키고, 기계적으로 결합하는 절연접합수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제4항에 있어서, 상기 절연접합수단은, 인장에 약한 기계적 성질을 개선시키기 위한 평면적인 고리 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제3항에 있어서, 상기 검출부는, 상기 제2 스프링위에 형성되어 상기 진동질량의 상하방향의 진동크기를 측정하는 것을 특징으로 하는 진동형 마이크로 자이로스코프
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제2항에 있어서, 상기 외부 구조물의 지지부와, 제3 앵커를 연결하도록 좌우 방향으로 배치된 보스프링을 더 포함하여, 상기 보스프링의 소정 위치를 압저항 물질을 도포하여 각속도에 비례하는 외부구조물의 상하 방향 진동 크기를 보의 휨 변형으로 측정하는 것을 특징으로 하는 진동형 자이로스코프
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