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3차원 공진기를 갖는 표면방출 레이저 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015075536
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 문턱전류(threshold current)를 낮추려는 목적으로 표면방출 레이저(surface-emitting laser)의 공진기 측면에 금속막을 증착시킴으로써, 빛을 3차원 공간(three diemnsional cavity) 안에 속박시켜 광 이득을 높여주고, 또한 이 금속막에 전기장을 가하여 공진기 내로 전류주입을 조절함으로써 측면 누설전류를 줄여 결과적으로 문턱전류가 매우 낮은 특성을 얻을 수 있는 표면방출 레이저의와 그 제조방법에 관한 것이다.삼천사원,공진기,표면방출 레이저, 반사막, 광이득
Int. CL H01S 5/183 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019960069284 (1996.12.20)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0243655-0000 (1999.11.17)
공개번호/일자 10-1998-0050461 (1998.09.15) 문서열기
공고번호/일자 (20000201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.12.20)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박효훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 추혜용 대한민국 대전광역시 유성구
3 유병수 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1996.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1996-0229603-10
2 특허출원서
Patent Application		 1996.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1996-0229602-75
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1996.12.20 수리 (Accepted) 1-1-1996-0229604-66
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.15 수리 (Accepted) 1-1-1996-0229605-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1999.05.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0168819-61
6 의견서
Written Opinion		 1999.07.28 수리 (Accepted) 1-1-1999-5275917-17
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1999.07.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-1999-5275918-52
8 등록사정서
Decision to grant		 1999.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0312223-50
9 FD제출서
FD Submission		 1999.11.17 수리 (Accepted) 2-1-1999-5194170-64
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

기판상에 형성된 하부거울층의 돌출부와 상기 돌출부상에 연장된 활성층과 상부거울층으로 이루어지는 레이저 기둥의 측벽에 절연막을 개재하여 형성되며, 구비된 n형 및 p형 전극과 전기적으로 분리되어 독립적인 전기장을 가할 수 있는 측면금속거울층을 구비하는 3차원 공진기를 갖는 표면방출 레이저

2 2

반도체 기판상에 하부거울층, 활성층, 상부거울층을 차례로 형성하는 단계;

상기 상부거울층 상에 p형 전극 및 식각마스크를 겸하는 제1금속막 패턴을 형성하고 이를 식각마스크로하여 상기 상부거울층, 활성층과 하부거울층의 일부두께를 식각하여 레이저 기둥을 형성하는 단계;

표면 전체에 절연막을 형성하는 단계;

상기 레이저 기둥 측면의 상기 절연막 상에 측면거울용 제2 금속막 패턴을 형성하는 단계;

상기 p형 전극의 표면을 개방하는 단계;

전체구조 상부에 평탄화용 폴리이미드막을 도포하고 상기 측면거울용 제2 금속막의 패드를 형성하는 단계;

상기 p형 전극에 금속 패드를 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 3차원 공진기를 갖는 표면방출 레이저 제조 방법

3 3

제2항에 있어서,

상기 절연막은 1000Å 내지 5000Å 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 3차원 공진기를 갖는 표면방출 레이저 제조 방법

4 4

제2항에 있어서,

상기 p형 전극의 표면을 개방하는 단계는,

포토레지스트 또는 폴리이미드를 도포하는 단계;

상기 포토레지스트막 또는 폴리이미드막의 윗부분을 태워(ashing) p형 전극 위의 제2 금속막 패턴을 노출 시키는 단계;

상기 제2 금속막 패턴을 제거하고 그로인해 노출되는 상기 절연막을 식각하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 3차원 공진기를 갖는 표면방출 레이저 제조 방법

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1 US05895224 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US5895224 US 미국 DOCDBFAMILY
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