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마스크 기판과, X-선 투과성이 높은 박막을 상기 마스크 기판 표면에 형성하여 제작한 멤브레인과, 시료 기판위에 전사하고자 하는 패턴을 X-선 투과성이 낮은 재료로써 상기 멤브레인 표면에 형성한 흡수체와, 마스크의 기계적 안정과 마스크 취급의 편의를 위해 마스크 기판 후면에 접착하는 지지 링을 구비하고, 상기 소정 패턴이 형성된 영역에 대응되는 상기 멤브레인의 후면 영역이 노출되도록 상기 마스크기판 후면부를 제거하여 제작한 X-선 마스크에 있어서, 상기 지지 링의 단면 구조가 다각형, 삼각형 및 원형 중 어느 한 형태인 것을 특징으로 하는 X-선 마스크
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마스크 기판과, X-선 투과성이 높은 박막을 상기 마스크 기판 표면에 형성하여 제작한 멤브레인과, 시료 기판위에 전사하고자 하는 패턴을 X-선 투과성이 낮은 재료로써 상기 멤브레인 표면에 형성한 흡수체와, 마스크의 기계적 안정과 마스크 취급의 편의를 위해 마스크 기판 후면에 접착하는 지지 링을 구비하고, 상기 소정 패턴이 형성된 영역에 대응되는 상기 멤브레인의 후면 영역이 노출되도록 상기 마스크기판 후면부를 제거하여 제작한 X-선 마스크에 있어서, 상기 지지 링의 내, 외 측면 또는 상, 하 면에 보강용 홈 또는 보강용 빔을 추가하여 보강한 지지 링인 것을 특징으로 하는 X-선 마스크
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제2항에 있어서, 상기 지지 링은 단면이 단순 사각형 구조인 지지 링의 단면 구조를 변경하기 위해 지지 링의 측면을 따라 보강형 홈을 형성 하되, 홈의 평면 구조는 원주형으로, 홈의 단면 구조는 삼각, 사각 및 사다리꼴 중 어느 한 형태로, 홈의 위치는 내, 외 양측면 또는 내, 외 양 측면 중 일 측면을 따라 형성하고, 개수는 1개 또는 측면 면적이 허락하는 한 2개 이상으로 홈을 형성한 지지 링인 것을 특징으로 하는 X-선 마스크
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제2항에 있어서, 상기 지지 링은 단면이 단순 사각형 구조인 지지 링의 단면 구조를 변경하기 위해 지지 링에 보강형 홈을 형성 하되, 홈의 평면 구조는 원주형으로, 홈의 단면 구조는 삼각, 사각 및 사다리꼴 중 어느 한 형태로, 홈의 위치는 내, 외 양측면 또는 내, 외 양 측면 중 일 측면을 따라 형성하고, 개수는 1개 또는 측면 면적이 허락하는 한 2개 이상의 동심원 형태로 홈을 형성한 지지 링인 것을 특징으로 하는 X-선 마스크
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제2항에 있어서, 상기 지지 링은 단면이 단순 사각형 구조인 지지 링의 단면 구조를 변경하기 위해 지지 링의 측면을 따라 보강용 돌출 산을 형성 하되, 홈의 평면 구조는 원주형으로, 홈의 단면 구조는 삼각, 사각 및 사다리꼴 중 어느 한 형태로, 홈의 위치는 내, 외 양측면 또는 내, 외 양 측면 중 일 측면을 따라 형성하고, 개수는 1개 또는 측면 면적이 허락하는 한 2개 이상으로 돌출 산을 형성한 지지 링인 것을 특징으로 하는 X-선 마스크
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제2항에 있어서, 상기 지지 링은 단면이 단순 사각형 구조인 지지 링의 단면 구조를 변경하기 위해 보강용 돌출 산을 형성 하되, 산의 평면 구조는 원주형으로, 산의 단면 구조는 삼각, 사각 및 사다리꼴 중 어느 한 형태로, 산의 산의 위치는 상, 하 양면 또는 일면을 따라 형성하고, 갯수는 1개 또는 바닥 면적이 허락하는 한 2개 이상의 동심원 형태로 돌출 산을 형성한 지지 링인 것을 특징으로 하는 X-선 마스크
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제1항에 있어서, 상기 지지 링은 지지 링의 단면 구조가 역삼각형 형태의 지지 링인 것을 특징으로 한느 X-선 마스크
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제1항에 있어서, 상기 지지 링은 지지 링의 단면구조가 상면 폭이 하면 폭 보다 넓거나 상면 폭이 하면 폭 보다 좁은 사다리꼴 형태의 지지 링인 것을 특징으로 하는 X-선 마스크
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제1항에 있어서, 상기 지지 링은 지지 링의 단면구조가 원형, 또는 타원형, 또는 원형과 유사한 형태의 지지 링인 것을 특징으로 하는 X-선 마스크
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제2항에 있어서, 상기 지지링은 지지 링에 보강용 홈을 추가 하되, 홈의 위치는 지지 링의 상, 하 양 면 또는 어느 일 면에 형성하고, 홈의 평면 구조는 삼각형 또는 사각 이상의 다각형 형태로, 홈의 단면 구조는 삼각, 사각 및 사다리꼴 중 어느 한 형태로, 홈의 개수는 1개 또는 그 이상을 동심 형태로 홈을 형성하여 보강한 지지 링인 것을 특징으로 하는 X-선 마스크
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제2항에 있어서, 상기 지지링은 지지 링에 보강용 빔을 추가 하되, 빔의 위치는 지지 링의 상, 하 양 면 또는 어느 일 면에 형성하고, 빔의 평면 구조는 삼각형 또는 사각 이상의 다각형 형태로, 빔의 단면 구조는 삼각, 사각 및 사다리꼴 중 어느 한 형태로, 홈의 개수는 1개 또는 그 이상을 동심 형태로 빔을 형성하여 보강한 지지 링인 것을 특징으로 하는 X-선 마스크
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