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전자를 방출하는 하판과, 상기 방출된 전자에 의해 구비된 형광체를 발광시키는 상판으로 이루어지는 진공소자에 있어서, 상기 하판은 제1절연기판과, 상기 제1절연기판 상에 형성되어 펄스 전압을 인가받는 제1전극과, 상기 제1전극 상에 형성된 강유전체 박막, 및 상기 강유전체 박막 상에 형성되어 제1정전압을 인가받는 제2전극을 포함하여 이루어지며, 상기 상판은 제2절연기판과, 상기 제2절연기판 상에 형성되어 제2정전압을 인가받는 투명재질의 제3전극, 및 상기 제3전극 상에 형성되는 형광체를 포함하여 이루어지는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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제1항에 있어서, 상기 제2전극은 리소그라피 공정에 의해 패터닝되어 상기 제1전극과 직교배열된 것을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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제1항에 있어서, 상기 강유전체 박막은 Pb(ZrTi)O3 또는 (PbLa)(ZrTi)O3를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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4
제3항에 있어서, 상기 강유전체 박막은 솔-젤(Sol-Gel)법, 스퍼터(sputter)법, 또는 유기화학기상증착(MOCVD)법 중 어느한 방법에 의해 형성된 박막인 것을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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제4항에 있어서, 상기 강유전체막은 500nm∼2μm 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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6
제1항에 있어서, 상기 제1절연기판은 실리콘 기판과, 상기 실리콘 기판 상에 형성된 절연막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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7
제1항에 있어서, 상기 제1절연기판은 유리기판 임을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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제1항에 있어서, 상기 제1전극 및 제2전극은 백금을 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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제1항에 있어서, 상기 제1전극 상에 인가되는 펄스 전압은 ±20V임을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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제7항에 있어서, 상기 제2전극상에 인가되는 제1정전압은 접지전압임을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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제1항에 있어서, 상기 제3전극에 인가되는 제2정전압은 100V 임을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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제1항에 있어서, 상기 형광체는 칼라 디스플레이를 실현하기 위한 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 형광체임을 특징으로 하는 강유전체 박막을 사용한 전자방출 진공소자
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