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빔 정렬기구 받침대 상에 부설되고, 서브모듈을 정렬하기 위한 서브모듈 홀더를 x, y, z 방향으로움직이기 위한 서브모듈 홀더용 스테이지와, 정렬이 이루어진 후 서브모듈과 열전 냉각소자 사이의 열전도성 에폭시를 열경화시켜 서브모듈을 열전 냉각소자에 고정시키기 위한 핫플레이트와, 버터플라이 패키지의 궤환광 차단기 삽입홈에 그 일단이 삽입 설치되며, 상기한 서브모듈의 레이저 다이오드에서 발산된 빔을 평행광으로 변환하여 스크린 상에 맺히도록 하는 빔 정렬통과, 상기한 빔 정렬통을 고정하며 x, y, z 방향으로 움직이기 위한 x,y,z-스테이지와, 서브모듈의 정렬과정 중 정렬된 빔을 관찰하기 위한 스크린 및 적외선 카메라를 포함하는, 반도체 레이저 모듈의 빔 정렬기구
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제1항에 있어서, 상기한 빔 정렬통은, 원통 형상을 지니며 평행광렌즈 조절용 손잡이를 안내하기 위한 슬롯이 형성된 평행광 렌즈 가이드와, 상기한 렌즈 가이드 내에 설치되며, 서브모듈의 레이저 다이오드에서 발산된 빔을 평행광으로 변환하는 평향광 렌즈와, 상기한 평행광 렌즈의 상하부에 부설되며, 평행과 렌즈의 중심으로 빔이 지나가도록 하는 평행광 렌즈 하우징과, 상기한 렌즈를 상기한 렌즈 가이드의 슬롯 내에서 좌우로 이동시켜 상기한 평행광 렌즈를 빔 웨이스트 후방에 위치시키기 위한 평행광 렌즈 조절용 손잡이로 구성된 것을 특징으로 하는, 반도체 레이저 모듈의 빔 정렬기구
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열전 냉각 소자가 부착된 버터플라이 패키지를 핫플레이트 상에 고정시킨 후 열전 냉각소자의 상면에 열전도성 에폭시를 바르고 그 위에 서브모듈을 올려 놓은 다음, 서브모듈 홀더용 스테이지를 움직여 서브모듈 홀더로 서브모듈을 지지하는 단계와, 빔 정렬통을 버터플라이 패키지 전방에 일직선이 되도록 위치시킨 후 x,y,z-스테이지를 조절하여 빔 정렬통의 일단을 버터플라이 패키지의 궤환광 차단기 삽입홈에 삽입하는 단계와, 상기한 빔 정렬통의 평행광 렌즈 조절용 손잡이를 좌우로 움직이면서 적와선 카메라를 통해 스크린을 관찰하여, 빔의 직경이 가장 작아지는 위치에 평행광 렌즈를 고정시키는 단계와, 스크린 상의 빔이 스크린의 정렬위치 표시와 일치하도록 서브모듈 홀더용 스테이지를 움직여 서브모듈 홀더로 서브모듈을 이동시키면서, 서브모듈의 광축과 궤환광 차단기 삽입홈의 중심을 이치시키는 단계와, 서브모듈이 광축과 궤환광 차단기 삽입홈의 중심을 일치시킨 후, 핫플레이트에 열을 가해 상기한 열전도성 에폭시를 졍화시켜 서브모듈을 고정시키는 단계를 포함하는, 반도체 레이저모듈의 빔 정렬방법
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