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(정정) 측정물의 고주파 특성을 측정하여 측정오차를 보정하는 고주파 측정오차 보정 방법에 있어서, 고주파용 커넥터와 유전체 기판위에 제작된 제 1 전송선으로 구성된 고주파 측정용 보조기구에 의한 영향을 보정하기 위하여, 상기 고주파용 커넥터 부분은 소정의 특성 임피던스를 갖는 제 2 전송선으로 모델링하며, 상기 제 1 전송선은 소정의 길이를 갖는 제 3 전송선으로 모델링하며, 모델링한 접합부에는 특성을 모르는 기생성분이 병렬로 연결되도록 모델링하는 제 1 단계; 및 미리 계산된 측정용 보조기구의 특성으로부터 상기 고주파용 커넥터와 상기 제 1 전송선에 의한 영향을 제거한 후, 상기 커넥터쪽의 단자와 상기 제 1 전송선쪽 단자의 특성차이를 이용하여 상기 제 1 전송선의 특성 임피던스를 계산하고, 상기 제 1 전송선의 특성 임피던스 계산값을 이용해 상기 측정용 보조기구의 특성을 다시 계산하여 계산한 값에 따라 상기 측정용 보조기구의 특성을 보정하는 제 2 단계 를 포함하여 이루어진 고주파 측정오차 보정 방법
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