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1
제공된 기판과, 상기 기판 상부에 형성된 상기 기판과 격자 정합하는 제 1 버퍼층과, 상기 제 1 버퍼층 상부에 상기 기판과 격자 정합하는 제 1 양자 우물층과, 상기 제 1 양자 우물층 상부에 형성된 신장 변형된 초박막층과, 상기 신장 변형된 초박막층 상부에 형성된 상기 기판과 격자 정합하는 제 2 양자 우물층과, 상기 제 2 양자 우물층 상부에 형성된 상기 기판과 격자 정합하는 제 2 버퍼층과, 상기 제 2 버퍼층 상부에 형성된 캡층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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2 |
2
제1항에 있어서, 상기 기판은 InP로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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3 |
3
제1항에 있어서, 상기 제 1 버퍼층은 InGaAsP로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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4 |
4
제1항에 있어서, 상기 제 1 양자 우물층은 4 내지 6 nm 두께의 In0
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5 |
5
제1항에 있어서, 상기 초박막층은 0
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6 |
6
제1항에 있어서, 상기 제 2 양자 우물층은 4 내지 6 nm 두께의 In0
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7 |
7
제1항에 있어서, 상기 제 1 양자 우물층, 초박막층 및 제 2 양자 우물층은 활성층을 이루는 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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8 |
8
제1항에 있어서, 상기 제 1 양자 우물층 및 제 2 양자 우물층은 대칭 및 비대칭 구조중 어느 하나의 구조에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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9 |
9
제1항에 있어서, 상기 제 2 버퍼층은 InGaAsP로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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10 |
10
제1항에 있어서, 상기 캡층은 InP로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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11 |
11
제1항에 있어서, 상기 제 1 양자 우물층, 제 2 양자 우물층 및 그 사이의 초박막층에 의해 중양공 및 경양공의 부띠 에너지를 조정하는 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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12 |
12
제공된 기판과, 상기 기판 상부에 형성된 상기 기판과 격자 정합하는 제 1 버퍼층과, 상기 제 1 버퍼층 상부에 형성된 제 1 활성층과, 상기 제 1 활성층 상부에 형성된 상기 기판과 격자 정합하는 벽층과, 상기 벽층 상부에 형성된 제 2 활성층과, 상기 제 2 활성층 상부에 형성된 상기 기판과 격자 정합하는 제 2 버퍼층과, 상기 제 2 버퍼층 상부에 형성된 캡층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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13 |
13
제12항에 있어서, 상기 기판은 InP로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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14
제12항에 있어서, 상기 제 1 버퍼층은 InGaAsP로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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15
제12항에 있어서, 상기 제 1 활성층은 상기 기판과 격자 정합하는 제 1 양자 우물층과, 상기 제 1 양자 우물층 상부에 형성된 신장 변형된 제 1 초박막층과, 상기 제 1 초박막층 상부에 형성된 상기 기판과 격자 정합하는 제 2 양자 우물층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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16
제15항에 있어서, 상기 제 1 양자 우물층은 4 내지 6nm 두께의 In0
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17
제15항에 있어서, 상기 제 1 초박막층은 0
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18
제15항에 있어서, 상기 제 2 양자 우물층은 4 내지 6nm 두께의 In0
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19
제15항에 있어서, 상기 제 1 양자 우물층 및 제 2 양자 우물층은 대칭 구조 및 비대칭 구조중 어느 하나의 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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20
제12항에 있어서, 상기 벽층은 InGaAsP로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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21
제12항에 있어서, 상기 제 2 활성층은 상기 기판과 격자 정합하는 제 3 양자 우물층과, 상기 제 3 양자 우물층 상부에 형성된 신장 변형된 제 2 초박막층과, 상기 제 2 초박막층 상부에 형성된 상기 기판과 격자 정합하는 제 3 양자 우물층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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22
제21항에 있어서, 상기 제 3 양자 우물층은 4 내지 6nm 두께의 In0
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23
제21항에 있어서, 상기 제 2 초박막층은 0
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24
제21항에 있어서 상기 제 4 양자 우물층은 4 내지 6nm 두께의 In0
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25
제21항에 있어서, 상기 제 3 양자 우물층 및 제 4 양자 우물층은 대칭 및 비대칭 구조중 어느 하나의 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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26
제12항에 있어서, 상기 제 2 버퍼층은 InGaAsP로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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27
제12항에 있어서, 상기 캡층은 InP로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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28
제12항에 있어서, 상기 제 1 활성층 및 제 2 활성층은 대칭 구조 및 비대칭 구조중 어느 하나의 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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29
제12항에 있어서, 상기 제 1 활성층 및 제 2 활성층은 벽층에 의해 분리되어 다수로 구성될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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30
제12항에 있어서, 상기 제 1 양자 우물층과 제 2 양자 우물층 및 그 사이의 제 1 초박막층에 의해 중양공 및 경양공의 부띠 에너지가 조절되는 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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31
제12항에 있어서, 상기 제 3 양자 우물층과 제 4 양자 우물층 및 그 사이의 제 2 초박막층에 의해 중양공 및 경양공의 부띠 에너지가 조절되는 것을 특징으로 하는 반도체 광 증폭기
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