| 1 |
1
산화물 박막용 레이저 증착 창치의 진공 챔버에 있어서, 타깃 고정판 표면과 경사지도록 타깃 고정틀에 의해 부착되어 회전이 가능한 경사진 타깃과, 기판이 부착되며 상기 기판의 회전축을 따라 회전이 가능한 기판 가열기와 진공 챔버에 장착되어 상기 경사진 타깃에 레이저 빔을 입사 시키도록 하는 엑시머 레이저로 구성된 것을 특징으로 하는 대면적 산화물 박막용 레이저 증착 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 진공 챔버는 진공도가 1x10-6 Torr이고, 산소 또는 아르곤을 공급할 수 있는 가스 공급 시스템인 것을 특징으로 하는 대면적 산화물 박막용 레이저 증착 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 경사진 타깃은 증착하고자 하는 산화물 박막의 조성과 동일한 조성의 다결정질 소결체인 것을 특징으로 하는 대면적 산화물 박막용 레이저 증착 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 경사진 타깃은 직경 2
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 경사진 타깃은 경사각을 임의의 각으로 조절하여 증착 면적과 증착 속도를 조절할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 대면적 산화물 박막용 레이저 증착 장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 기판은 직경이 16cm의 LaAlO3(100) 기판인 것을 특징으로 하는 대면적 산화물 박막용 레이저 증착 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 기판은 회전 가능한 기판 가열기를 사용하여 엑시머 레이저의 레이저 빔에 의해 발생된 플롬 끝의 원형 쾌적 직경을 반경으로하는 기판에 박막 증착이 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 대면적 산화물 박막용 레이저 증착 장치
|
