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홀로그라피 방식에 의한 웨이퍼 스텝퍼의 티티엘 정렬 장치

  • 기술번호 : KST2015075847
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 ArF 엑시머 레이저를 광원으로 하는 스텝 및 스캔(Step Scan)형 반도체 노광장비에 있어서 회로 패턴을 담고 있는 레티클과 웨이퍼를 TTL(Through The Lens)방식으로 직접 정렬하는 광학 시스템에 관한 내용으로서, 홀로그라피(holography) 방식에 의한 위상공액파(phase conjugate wave)를 발생시켜 노광 광원과 정렬광원의 색수차를 보정하는 방법을 제시하고, ArF 엑시머 레이저를 노광 광원으로 사용하는 웨이퍼 스텝퍼에서 레티클과 웨이퍼의 위치를 직접 정렬하는 TTL 정렬방법을 제시한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 9/7088(2013.01)
출원번호/일자 1019960065742 (1996.12.14)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1998-0047266 (1998.09.15) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1996.12.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이각현 대한민국 대전광역시 유성구
2 권진혁 대한민국 대전광역시 수성구
3 우경철 대한민국 대전광역시 수성구
4 김도훈 대한민국 대전광역시 유성구
5 정해빈 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)
2 최승민 대한민국 서울특별시 중구 통일로 **, 에이스타워 *층 (순화동)(법무법인 세종)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1996.12.14 수리 (Accepted) 1-1-1996-0218826-37
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1996.12.14 수리 (Accepted) 1-1-1996-0218827-83
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1996.12.14 수리 (Accepted) 1-1-1996-0218828-28
4 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.03.12 수리 (Accepted) 1-1-1996-0218829-74
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1999.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0124909-52
6 거절사정서
Decision to Refuse a Patent		 1999.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0204798-24
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

편광 선속 분할기가 정렬광의 빛 나누개로 사용될 때 웨이퍼와 레티클로부터의 물체파와 기준파가 기록매질 상에 간섭을 일으켜 홀로그램을 만들도록 하는 것을 특징으로 하는 홀로그라피 방식에 의한 웨이퍼 스텝퍼의 티티엘(TTL) 정렬 장치

2 2

편광 선속 분할기가 정렬광의 빛 나누개로 사용될 때 물체파의 정보가 기록 되어진 홀로그램 상에 리딩 빔으로서 위상공액파를 이용해 물체파를 재생하여 웨이퍼와 레티클를 정렬하도록 하는 것을 특징으로 하는 홀로그라피 방식에 의한 웨이퍼 스텝퍼의 티티엘(TTL) 정렬 장치

3 3

비 편광 선속 분할기가 정렬광의 빛 나누개로 사용될 때 웨이퍼와 레티클로부터의 물체파와 기준파가 기록매질 상에 간섭을 일으켜 홀로그램을 만드는 것을 특징으로 하는 홀로그라피 방식에 의한 웨이퍼 스텝퍼의 티티엘(TTL) 정렬 장치

4 4

비 편광 선속 분할기가 정렬광의 빛 나누개로 사용될 때 물체파의 정보가 기록된 홀로그램 상에 리딩 빔으로서 위상공액파를 이용해 물체파를 재생하여 웨이퍼와 레티클을 정렬하는 것을 특징으로 하는 홀로그라피 방식에 의한 웨이퍼 스텝퍼의 티티엘(TTL) 정렬 장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.