요약 | 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야초 고진공용 선형이동장치2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제본 발명은 이동 축을 안테나 또는 낚시대 형태의 접히는 축을 사용하여 선형이동장치의 불필요한 후방 공간을 제거하여 공간을 효율적으로 활용할 뿐 아니라, 후방측으로 돌출하는 것을 제거하여 안전성을 확보한 초고진공용 선형 이동장치를 제공함에 그 목적이 있다.3. 발명의 해결방법의 요지본 발명은 횡측으로 관통된 공간부가 형성된 몸체; 상기 몸체의 공간부에 직각방향으로 관통되어 선형이동을 조정하는 회전 손잡이; 상기 몸체의 공간부 내에 장착되며, 회전손잡이의 축에 끼워져 연동하는 수단; 일단이 상기 몸체의 공간부의 소정위치에 삽입, 고정되며, 접고 펼치는 형태의 다단봉으로 형성된 가이드 로드; 일단은 상기 연동수단에 고정되며, 타단은 가이드 로드의 선단부에 고정되어 가이드 로드에 선형이동력을 제공하는 수단; 및 상기 가이드 로드의 외주면을 감싸며, 그의 선형이동에 따라 수축 및 팽창하는 밸로우즈 실을 포함하는 초고진공용 선형이동장치를 제공한다.4. 발명의 중요한 용도초고진공하에서 수축 및 팽창을 통한 선형이동제어를 수행하기 위한 것임. |
---|---|
Int. CL | H01L 21/68 (2006.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1019960062620 (1996.12.06) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | 10-0228382-0000 (1999.08.10) |
공개번호/일자 | 10-1998-0044527 (1998.09.05) 문서열기 |
공고번호/일자 | (19991101) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (1996.12.06) |
심사청구항수 | 5 |