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마이크로파용 고온초전도 폐루프 공진기형 4-극 대역통과 필터 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015076093
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 마이크로파용 고온초전도 4-극 대역통과 필터 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 초고주파 특성이 우수한 고온 초전도 에피택셜 박막 위에 실제로 설계 과정이나 소자 제조공정을 고려하여 마이크로스트립 폐루프형 공진기와 마이크로스트립 결합선을 집적하는 방식으로 구현하고, 저온 마이크로파 특성에 영향을 주지 않기 위해 입출력단에 금속 패드를 증착하며, 초전도성의 열화가 유도되는 것을 방지하기 위해 습식 식각 보다 건식 식각에 치중하는 식각 방식을 포함하는 고온 초전도 대역통과 필터 및 그 제조 방법이며, 신호를 거의 손실없이 통과시키고, 통과대역 양단의 저지대역에서는 스커트(skirt) 특성이 좋아서 효과적인 신호 전송 저지 기능과 잡음 제거 기능이 있다.
Int. CL H01P 11/00 (2006.01)
CPC H01P 1/20345(2013.01) H01P 1/20345(2013.01) H01P 1/20345(2013.01) H01P 1/20345(2013.01)
출원번호/일자 1019970019248 (1997.05.19)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0216547-0000 (1999.05.31)
공개번호/일자 10-1998-0083796 (1998.12.05) 문서열기
공고번호/일자 (19990816) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.05.19)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강광용 대한민국 대전광역시 유성구
2 김제하 대한민국 대전광역시 유성구
3 한석길 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1997.05.19 수리 (Accepted) 1-1-1997-0062166-87
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.05.19 수리 (Accepted) 1-1-1997-0062168-78
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.05.19 수리 (Accepted) 1-1-1997-0062167-22
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.08.28 수리 (Accepted) 1-1-1997-0062169-13
5 등록사정서
Decision to grant		 1999.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0105497-42
6 FD제출서
FD Submission		 1999.06.01 수리 (Accepted) 2-1-1999-5094857-09
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

마이크로파 특성이 우수한 유전체 MgO 단결정 기판의 표면을 평탄화하기 위해 선처리하는 제 1 공정과,

상기 기판위에 펄스 레이저 증착법에 의한 고온 초전도 에피박막을 증착하는 제 2 공정과,

상기 증착된 에피박막의 좌우 양단에 Ti/Au 금속 박막을 증착한 후, 곧장 식각하여 입출력단 위에 금속 패드를 형성하는 제 3 공정과,

상기 제 1 내지 제 3 공정의 결과물 위에 포토레지스트(photoresist)를 도포하는 제 4 공정(spin coating process)과,

상기 포토레지스트가 도포된 결과물을 노광시켜, 중앙에 두개의 폐루프형 공진기를 포함하고, 마이크로스트립 결합선이 입출력단으로 부터 상기 폐루프형 공진기의 일부와 평행하게 뻗어있는 형태로 미세형상화(micropatterning)하는 포토리소그래피 공정을 수행하는 제 5 공정과,

제 4 공정의 상기 포토레지스트 및 제 3 공정의 Au를 제거하고 잔여물을 식각하되, 습식 식각은 1분이내로 짧게 수행하여 상기 포토레지스트를 식각하고, 패터닝 및 잔여물 제거는 건식 식각으로 처리하여 초전도성의 열화유도를 방지하는 제 6 공정과,

상기 제 6 공정의 결과물의 기판 뒷면에 접지 평면(Ti/Ag)을 증착하는 제 7 공정으로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로파용 고온초전도 폐루프 공진기형 4-극 대역통과 필터 제조 방법

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 제 6 공정은

습식 식각을 통해 고온초전도 박막을 식각하고 이에 사용된 유기물을 제거하기 위한 세정공정은 행하지 않으며,

ECR-이온 밀링에 의한 건식 식각을 통해 회로패턴 표면까지를 평탄화하는 것을 특징으로 하는 마이크로파용 고온초전도 폐루프 공진기형 4-극 대역통과 필터 제조 방법

3 3

Ti/Au 박막 패드가 증착된 입출력단과,

좌우로 대칭을 이루며, 상기 입력단을 통해 입력된 신호가 공진(resonance)과 결합(coupling)을 통해 출력단으로 진행하도록 하기 위한 고안된 2개의 마이크로스트립 폐루프형 공진기와,

상기 입출력단의 일측에 연결되고 상기 폐루프형 공진기와의 결합을 크게 하기 위해 상기 폐루프형 공진기의 일부와 평행하게 뻗어있는 2개의 제 1 마이크로스트립 결합선과,

상기 폐루프형 공진기를 통해 진행하는 신호를 전기 용량적으로 조정하고 보완하기 위하여 상기 각 폐루프형 공진기에 부착된 제 2 마이크로스트립 결합선으로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로파용 고온초전도 폐루프 공진기형 4-극 대역통과 필터

4 4

제 3 항에 있어서, 상기 대역통과 필터는

마이크로파 특성이 우수한 유전체 MgO 기판위에 구성되며,

상기 기판의 뒷면에 Ti/Au 금속 박막으로 구성된 접지평면이 증착된 것을 특징으로 하는 마이크로파용 고온초전도 폐루프 공진기형 4-극 대역통과 필터

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.