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위치검출소자를 이용한 레티클 정렬장치 및 레티클 정렬 방법

  • 기술번호 : KST2015076277
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 ArF 엑시머 레이저를 광원으로 하는 스탭 및 스캔(step & scan) 노광장비에 관한 것으로서, 특히 1차원형 반도체 위치 검출소자를 사용하여 그 장치가 비교적 간단하면서도 높은 위치 정밀도를 얻을 수 있는 위치 검출 소자를 이용한 레티클 정렬 장치 및 레티클 정렬 방법에 관한 것이다.본 발명은 실제 노광 작업을 위해 반도체 회로 패턴을 담고있는 레티클을 카세트나 카트릿지로 부터 레티클 척으로 반입할 때 레티클이 웨이퍼나 광학계의 상대적인 적정 위치에 올 수 있도록 레티클을 직접 정렬하는 레티클 정렬 장치에 관한 내용으로서 1차원형 반도체 위치 검출소자를 사용하여 그 장치가 비교적 간단하면서도 높은 정밀도를 얻을 수 있는 장치 및 방법을 제시한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/70633(2013.01)
출원번호/일자 1019970075365 (1997.12.27)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0258175-0000 (2000.03.08)
공개번호/일자 10-1999-0055421 (1999.07.15) 문서열기
공고번호/일자 (20000601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.12.27)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 손영준 대한민국 경상북도 경산시
3 권진혁 대한민국 대구광역시 수성구
4 정해빈 대한민국 대전광역시 유성구
5 김보우 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)
2 최승민 대한민국 서울특별시 중구 통일로 **, 에이스타워 *층 (순화동)(법무법인 세종)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.12.27 수리 (Accepted) 1-1-1997-0234202-78
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.12.27 수리 (Accepted) 1-1-1997-0234203-13
3 특허출원서
Patent Application		 1997.12.27 수리 (Accepted) 1-1-1997-0234201-22
4 등록사정서
Decision to grant		 2000.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0035113-09
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
7 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2008.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2008-5055008-50
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

레티클에 위치하는 슬릿을 비추는 광원으로서 반도체 레이저와 시준 렌즈로 구성되는 반도체 레이저 모듈과,

상기 반도체 레이저 모듈로부터 방출되는 평행광을 직각으로 굴절시키는 프리즘과,

상기 프리즘에서 굴절된 평행광을 통과시키는 레티클의 슬릿과,

상기 레티클의 슬릿을 통과한 평행광의 위치를 검출하는 위치 검출소자를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 위치검출소자를 이용한 레티클 정렬장치

2 2

레티클의 x 와 y 축 위치 오차 및 회전오차를 동시에 측정하기 위해 레티클 상에 수평방향의 제 1 및 제 3 슬릿 및 수직방향의 제 2 슬릿을 레티클의 제조시 형성하는 단계와,

상기 제 1, 제 2 및 제 3 슬릿을 투과한 광을 검출하기 위해 상기 제 1, 제 2 및 제 3 슬릿과는 수직인 방향으로 대응하는 제 1, 제 2 및 제 3 위치검출소자를 배치하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 위치검출소자를 이용한 레티클 정렬방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.