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내부전반사형 홀로그래피에 의한 반사-굴절 투영광학계에서의자동 수차 보정 티티엘 정렬장치

  • 기술번호 : KST2015076381
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자 제작을 위한 스텝퍼나 스캐너의 TTL 정렬 장치에 있어서 내부 전반사형 홀로그래피(total internal reflection holography) 방식에 의한 위상공액파(phase conjugate wave)를 발생시켜 색수차를 보정하는 TTL 정렬을 수행하는 장치에 관한 것이다. 홀로그래피 방법 가운데 특히 내부 전반사형 홀로그래피는 구조가 간단하여 정렬계 구성에 있어서 유리하며 참조광이 광학계에 미치는 영향이 없으므로 반도체 노광장비의 투영광학계에 대한 영향이 적다는 장점이 있다. 이러한 기술을 근거로 하여 ArF 엑시머 레이저의 광을 노광 광원으로 사용하는 웨이퍼 스텝퍼에서 레티클과 웨이퍼의 위치를 직접 정렬하도록 하는 것으로 노광광원에 의한 마스크의 패턴을 굴절되도록 하는 입사 굴절광학계(102)와 반사경(103) 및 편광 빛 분할기(104)와; 상기 패턴을 웨이퍼로 축소 투영시키는 오목 반사경(105)과 출사 광학계(106)와; 아르곤 레이저(110)의 광원으로 부터 파이버를 통해 입사되는 TTL 정렬수단과; 상기 TTL 정렬수단에 의해 반사-굴절 시스템 내로 투영되는 정렬광(111)은 웨이퍼 정렬광(112)과 레티클 정렬광(114)으로 나뉘어져서 각각 레티클(108)과 웨이퍼(107)로 투영되도록 하는 편광 빛 분할기(104)와; 상기 아르곤 레이저(110)로 부터 내부 전반사형 홀로그래픽 TTL 정렬수단까지 정렬광을 전달하도록 하는 단일모드 파이버(202)로 구성되며, 상기 TTL 정렬수단은 내부 전반사형 홀로그램 정렬계(200)를 이용하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G03H 1/22 (2006.01)
CPC G03H 1/22(2013.01) G03H 1/22(2013.01) G03H 1/22(2013.01) G03H 1/22(2013.01) G03H 1/22(2013.01)
출원번호/일자 1019970072632 (1997.12.23)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0248394-0000 (1999.12.17)
공개번호/일자 10-1999-0053062 (1999.07.15) 문서열기
공고번호/일자 (20000315) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.12.23)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 손영준 대한민국 경상북도 경산시
3 권진혁 대한민국 대구광역시 수성구
4 정해빈 대한민국 대전광역시 유성구
5 김보우 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1997.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1997-0226400-79
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1997-0226402-60
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1997-0226401-14
4 등록사정서
Decision to grant		 1999.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0371351-13
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

노광광원에 의한 마스크의 패턴을 굴절되도록 하는 입사 굴절광학계(102)와 반사경(103) 및 편광 빛 분할기(104)와;

상기 패턴을 웨이퍼로 축소 투영시키는 오목 반사경(105)과 출사 광학계(106)와;

아르곤 레이저(110)의 광원으로 부터 파이버를 통해 입사되는 TTL 정렬수단과;

상기 TTL 정렬수단에 의해 반사-굴절 시스템 내로 투영되는 정렬광(111)은 웨이퍼 정렬광(112)과 레티클 정렬광(114)으로 나뉘어져서 각각 레티클(108)과 웨이퍼(107)로 투영되도록 하는 편광 빛 분할기(104)와;

상기 아르곤 레이저(110)로 부터 내부 전반사형 홀로그래픽 TTL 정렬수단까지 정렬광을 전달하도록 하는 단일모드 파이버(202)로 구성됨을 특징으로 하는 내부전반사형 홀로그래피에 의한 반사-굴절 투영 광학계에서의 자동 수차 보정 TTL 정렬장치

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 TTL 정렬수단은 내부 전반사형 홀로그램 정렬계(200)를 이용하는 것을 특징으로 하는 내부전반사형 홀로그래피에 의한 반사-굴절 투영 광학계에서의 자동 수차 보정 TTL 정렬장치

3 3

제 1 항 또는 제 2항에 있어서,

상기 내부 전반사형 홀로그램 정렬계(200)에서 나온 광은 투영광학계의 편광 빛분할기(104)에 의해 나뉘어져서 레티클(108)과 웨이퍼(107)를 동시에 정렬하도록 하는 것을 특징으로 하는 내부전반사형 홀로그래피에 의한 반사-굴절 투영 광학계에서의 자동 수차 보정 TTL 정렬장치

4 4

제 2 항에 있어서,

상기 내부 전반사형 홀로그램 정렬계(200)는 내부 전반사형 홀로그램(222),(224)이 부착되어 있는 2개의 프리즘(221),(223)으로 물체파(229),(230)와 기준파(225),(227)를 동시에 보내어 주어 홀로그램(222),(224)의 기록 및 재생을 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 내부전반사형 홀로그래피에 의한 반사-굴절 투영 광학계에서의 자동 수차 보정 TTL 정렬장치

5 5

제 4 항에 있어서,

상기 내부 전반사형 홀로그램 정렬계(200)는 홀로그램 기록셔터(204),(217)와 위상공액파 발생용 셔터(218)를 이용하여 포토폴리머(222),(224)에 홀로그램을 기록 및 재생하도록 함을 특징으로 하는 내부전반사형 홀로그래피에 의한 반사-굴절 투영 광학계에서의 자동 수차 보정 TTL 정렬장치

6 6

제 4 항에 있어서,

상기 내부 전반사형 홀로그램 정렬계(200)는 빛 분할기(210),(211)를 이용하여 동시에 내부 전반사형 홀로그램을 기록 및 재생하는 양 채널 장치로 구성됨을 특징으로 하는 내부전반사형 홀로그래피에 의한 반사-굴절 투영 광학계에서의 자동 수차 보정 TTL 정렬장치

7 7

제 1 항에 있어서,

상기 편광분할기를 통하여 투영되어 레티클(108)과 웨이퍼(107)에서 산란되어 나온 암시야 정렬신호(231),(232),(233),(234)는 8개의 파이버(237),(239)들을 통해 포토멀티플라이어 튜브(238),(240)로 이송하도록 함을 특징으로 하는 내부전반사형 홀로그래피에 의한 반사-굴절 투영 광학계에서의 자동 수차 보정 TTL 정렬장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.