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복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피장비용 광학계의 초점심도 확장 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015076403
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 리소그래피 장비의 광학계가 갖는 초점심도를 확장하여 광학계 광축 방향의 보다 넓은 범위에서 원하는 해상도의 상을 얻을 수 있도록 하는, 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용하여 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도를 확장하는 방법 및 장치에 관한 것이다.본 발명은, 조명광으로 원본인 마스크를 조명하고 광학계를 사용하여 이를 작업물 위에 전사하여 미세 형상을 만들어주는 리소그래피 장비에 있어서,상기 광학계는, 부품 또는 유니트의 일부로서 복굴절 물질로 제작된 투과형 복굴절 광학부품 또는 이들의 결합으로 이루어지는 복굴절 광학유니트를 포함하여,상기 복굴절 광학유니트에 의해 맺히는 상이 조명광의 편광 성분에 따라 광학계의 광축 방향으로 서로 다른 위치에 맺히게 하여 초점심도를 확장하도록 하는 방법 및 장치로서 이루어지고,이러한 복굴절 물질로 평행평판 또는 렌즈와 같은 광학부품을 제작하여 광학계를 구성하는 부분품으로서 광학계 내에 설치하면 입사한 빛의 편광방향에 따라서 그 굴절률에 차이가 나타나게 되어 빛이 지나가게 되는 경로가 달라지게 되고 그 결과 광학계의 광축 방향을 따라 상을 맺는 위치가 달라지게 되어 일정한 범위에서 연속적으로 상을 맺게 됨으로써 이 범위에서 원하는 해상도의 상을 얻을 수 있게 되므로써,리소그래피 장비에 장착되는 광학계에 적용되어 반도체나 디스플레이 소자, 미소 기전 소자(micro electro-mechanical system) 등을 사진 전사적 방법에 의해 제작할 때 원하는 해상도의 상이 맺히는 범위를 광축방향으로 확장하여 생산성을 높이는 데 사용하거나 두께가 두꺼운 감광물질의 전체 두께를 감광시키기 위하여 사용할 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019980019516 (1998.05.28)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0269244-0000 (2000.07.20)
공개번호/일자 10-1999-0086512 (1999.12.15) 문서열기
공고번호/일자 (20001201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.05.28)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김도훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 이각현 대한민국 대전광역시 유성구
3 최상수 대한민국 대전광역시 유성구
4 정해빈 대한민국 대전광역시 유성구
5 김보우 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 서울특별시 강남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.05.28 수리 (Accepted) 1-1-1998-0061647-03
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.05.28 수리 (Accepted) 1-1-1998-0061648-48
3 특허출원서
Patent Application		 1998.05.28 수리 (Accepted) 1-1-1998-0061646-57
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2000.05.19 수리 (Accepted) 9-1-2000-9001028-35
5 등록사정서
Decision to grant		 2000.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0123014-74
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

조명광으로 원본인 마스크를 조명하고 광학계를 사용하여 이를 작업물 위에 전사하여 미세 형상을 만들어주는 리소그래피 장비에 있어서,

상기 광학계는, 부품 또는 유니트의 일부로서 복굴절 물질로 제작된 투과형 복굴절 광학부품 또는 이들의 결합으로 이루어지는 복굴절 광학유니트를 사용하여,

상기 복굴절 광학유니트에 의해 맺히는 상이 조명광의 편광 성분에 따라 광학계의 광축 방향으로 서로 다른 위치에 맺히게 하여 초점심도를 확장하도록 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장방법

2 2

제 1항에 있어서,

상기 복굴절 광학유니트는, 조명광으로써 편광이 되지 않은 빛을 사용하여 광학계의 광축 방향으로 연속적으로 상점을 형성하도록 하고,

이러한 상점으로 수렴하거나 이러한 상점들로부터 발산하는 광속들이 공간적으로 서로 결합하여 광축 방향의 특정한 지점에서 감광을 위해 필요한 최소한의 강도 이상의 강도를 갖도록 하여 초점심도를 확장하도록 함을 특징으로 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장방법

3 3

제 1항에 있어서,

상기 복굴절 광학유니트는, 조명광으로써 한 방향 또는 그 이상의 방향으로 편광된 빛을 이용하여 두 개 이상의 지점에서 상이 형성되도록 하고,

이러한 상점들로 수렴하거나 이러한 상점들로부터 발산하는 광속들이 공간적으로 서로 결합하여 광축 방향의 특정한 지점에서 감광을 위해 필요한 최소한의 강도 이상의 강도를 갖도록 하여 초점심도를 확장하도록 함을 특징으로 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장방법

4 4

제 1항에 있어서,

상기 복굴절 광학유니트는, 조명광으로써 원편광인 빛을 사용하여 두 개 이상의 지점에서 상이 형성되도록 하고,

이러한 상점들로 수렴하거나 이러한 상점들로부터 발산하는 광속들이 공간적으로 서로 결합하여 광축 방향의 특정한 지점에서 감광을 위해 필요한 최소한의 강도 이상의 강도를 갖도록 하여 초점심도를 확장하도록 함을 특징으로 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장방법

5 5

제 3항에 있어서,

상기 조명광은, 복굴절 물질의 광축과 45도를 이루는 방향으로 선편광된 빛을 사용함을 특징으로 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장방법

6 6

조명광으로 원본인 마스크를 조명하고 광학계를 사용하여 이를 작업물 위에 전사하여 미세 형상을 만들어주는 리소그래피 장비에 있어서,

상기 광학계는, 빛의 편광성분에 따른 굴절률의 차이를 이용하여 빛의 경로를 변화시켜서 광학계의 광출방향으로 상이 맺히는 곳을 다르게 하여 확장된 범위에서 원하는 해상도의 상을 얻을 수 있도록 복굴절물질로 만들어진 투과형 광학부품을 포함하여 설치하거나 또는 이들의 결합체인 광학유니트로 설치됨을 특징으로 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장장치

7 7

제 6항에 있어서,

상기 복굴절 물질은, 수정으로 이루어짐을 특징으로 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장장치

8 8

제 6항에 있어서,

상기 복굴절 물질은, 방해석으로 이루어짐을 특징으로 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장장치

9 9

제 6항에 있어서,

상기 복굴절 물질은, 운모로 이루어짐을 특징으로 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장장치

10 10

제 6항에 있어서,

상기 복굴절 물질은, 복굴절성 폴리머로 이루어짐을 특징으로 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장장치

11 11

제 6항에 있어서,

상기 복굴절 물질로 제작되는 투과형 광학부품은, 평행 평면판인 것을 특징으로 하는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장장치

12 12

제 6항에 있어서,

상기 복굴절 물질로 제작되는 투과형 광학부품은, 렌즈를 포함하여 되는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장장치

13 13

제 6항에 있어서,

상기 복굴절 물질로 제작되는 광학부품은, 프리즘을 포함하여 되는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장장치

14 14

제 6항에 있어서,

상기 복굴절 물질로 제작되는 광학부품은, 광학쐐기를 포함하여 되는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장장치

15 15

제 6항에 있어서,

상기 복굴절 물질로 제작되는 복굴절 광학유니트는, 평행 평판, 렌즈, 프리즘, 광학쐐기 중 하나 또는 그 이상의 종류를 2개 이상 결합하여 되는 복굴절 물질로 만들어진 투과형 광학부품을 사용한 리소그래피 장비용 광학계의 초점심도 확장장치

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1 JP11354432 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JPH11354432 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 US6057970 US 미국 DOCDBFAMILY
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