맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

비정질 불소 수지 접착제를 이용한 편광 광 분할기와 그 제작방법

  • 기술번호 : KST2015076407
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 193nm 파장의 ArF 엑시머 레이저를 조명 광원으로 이용한 미세 패턴 노광 장비의 광학계에 소요되는 S-파는 반사시키고, P-파는 투과시키는 편광 광 분할기와 그 제작방법에 관한 것이다. 편광 광 분할기는 직각프리즘 2개와 유전체 다층 박막층, 접착층으로 구성되는 데, 기존의 박막물질들은 193nm에서 흡수가 커서 투과율이 떨어지고, 접착제는 193nm 파장에서 흡수율이 높거나 장시간의 조사에 의해서 변성을 일으키므로 사용이 불가능하다. 따라서 본 발명에서는 프리즘 재료로 193nm에서 내부 투과율이 1센티미터당 99% 이상인 용융 석영을 이용하였으며, 유전체 박막 물질은 소멸 계수가 0.01 이하인 물질을 이용하였다. 특히 접착제로 기존의 가시광선 영역에서 사용하던 에폭시 수지의 경우 ArF 엑시머 레이저를 조사할 경우 막이 상해서 사용이 불가능하게 된다. 따라서 193nm 파장 영역에서 흡수가 적고, 장시간의 조사에 의해서 변형이 생기지 않는 새로운 접착제를 사용하고, 이러한 접착제를 사용할 때 프리즘 재료와의 굴절률 차이를 보상해 줄 수 있는 편광 광 분할기와 그 제작방법을 제안하고 있다.
Int. CL G02B 6/27 (2006.01)
CPC G02B 6/126(2013.01) G02B 6/126(2013.01) G02B 6/126(2013.01) G02B 6/126(2013.01)
출원번호/일자 1019970054787 (1997.10.24)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0261266-0000 (2000.04.17)
공개번호/일자 10-1999-0033430 (1999.05.15) 문서열기
공고번호/일자 (20000701) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.10.24)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종수 대한민국 대전광역시 서구
2 최상수 대한민국 대전광역시 유성구
3 정해빈 대한민국 대전광역시 유성구
4 이각현 대한민국 대전광역시 유성구
5 김도훈 대한민국 대전광역시 유성구
6 유형준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1997.10.24 수리 (Accepted) 1-1-1997-0173560-33
2 특허출원서
Patent Application		 1997.10.24 수리 (Accepted) 1-1-1997-0173558-41
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.10.24 수리 (Accepted) 1-1-1997-0173559-97
4 등록사정서
Decision to grant		 2000.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0019244-06
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

193nm 파장의 ArF 엑시머 레이저 출력 파장에 대해서 편광 광 분할기의 기능을 가지도록 유전체 박막을 한쌍의 프리즘중에 일측프리즘의 한쪽 빗면에 [HL]mH의 구조로 다층 코팅한 후, 상기 다층 박막 층과 타측프리즘 빗면을 접합할때 비정질 불소 수지 접착제를 이용해서 접합시켜 편광 광분할기를 제작하는 것을 특징으로 하는 비정질 불소 수지 접착제를 이용한 편광 광 분할기 제작방법

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 비정질 불소 수지 접착제는,

굴절률이 1

3 3

제 2 항에 있어서,

상기 비정질 불소 수지 접착제는,

굴절률이 1

4 4

제 1 항에 있어서,

상기 다층 박막들의 광학적 두께는,

상기 레이저출력 파장의 1/4 근처인 것을 특징으로 하는 비정질 불소 수지 접착제를 이용한 편광 광 분할기 제작방법

5 5

193nm 파장의 ArF 엑시머 레이저 출력 파장에 대해서 편광 광 분할기의 기능을 가지도록 유전체 박막을 한쌍의 프리즘중에 일측프리즘의 한쪽 빗면에 [HL]mH의 구조로 다층 코팅한 후, 상기 다층 박막 층과 타측프리즘 빗면을 접합할시 비정질 불소 수지의 접착제를 이용해서 접합시켜 제작된 것을 특징으로 하는 비정질 불소 수지 접착제를 이용한 편광 광 분할기

6 6

제 5 항에 있어서,

상기 비정질 불소 수지 접착제는,

굴절률이 1

7 7

제 5 항에 있어서,

상기 비정질 불소 수지 접착제는,

굴절률이 1

8 8

제 5 항에 있어서,

상기 비정질 불소 수지 접착제는,

상기 다층박막들의 광학적 두께는,

상기 레이저출력 파장의 1/4 근처인 것을 특징으로 하는 비정질 불소 수지 접착제를 이용한 편광 광 분할기

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.