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IC 리드프레임 자동검사 시스템 및 그 운용방법

  • 기술번호 : KST2015076431
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 IC 리드프레임(leadframe)의 형상을 영상처리 기술을 이용하여 자동으로 검사하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 자동검사 시스템은 리드 스페이싱(lead spacing), 패드이동(pad shift), 테이프위치(tape position) 그리고 펀칭(punching) 결함의 네 가지 항목을 검사하기 위한 시스템으로서 검사속도 향상과 유연한 검사환경을 위해 영상획득 부분과 검사 부분을 독립된 스레드(thread)로 설계하였으며 시스템의 안정성과 호환성을 고려하여 윈도 NT를 운영체제로 사용하였다. 본 시스템을 두 개의 독립된 스레드로 설계함으로써 검사를 수행하는 동안에도 계속해서 영상을 획득할 수 있도록 하여 전체적인 성능을 향상시켰다. 특히 스페이싱 검사는 매우 높은 정밀도를 요구하므로 고배율의 전용 카메라를 이용하며, 서브픽셀 방법을 이용하여 한 픽셀의 약 1/3정도의정밀도를 안정적으로 유지할 수 있었다. 테이프검사는 테이프 경계선 위치의 상호관계를 이용해서 검사하는데 임의의 테이프 모양에 대해서도 검사할 수 있도록 테이프 형태에 대응하는 다각형을 축소 및 확대할 수 있는 알고리즘을 개발했다. 위와 같은 검사방법을 사용하여 실제의 리드프레임에 대해 실험해본 결과 초당 약 다섯 개의 리드프레임 유닛을 검사할 수 있는 고속, 고정밀 검사 시스템임을 확인할 수 있었다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01N 21/8851(2013.01) G01N 21/8851(2013.01) G01N 21/8851(2013.01)
출원번호/일자 1019970069080 (1997.12.16)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 피에스엠씨
등록번호/일자 10-0249844-0000 (1999.12.28)
공개번호/일자 10-1998-0005993 (1998.03.30) 문서열기
공고번호/일자 (20000315) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.12.16)
심사청구항수 17

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 피에스엠씨 대한민국 부산광역시 해운대구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오원근 대한민국 대전광역시 유성구
2 김현진 대한민국 대전광역시 유성구
3 이인호 대한민국 대전광역시 서구
4 위명진 대한민국 부산광역시 해운대구
5 이종택 대한민국 부산광역시 해운대구
6 홍석동 대한민국 부산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노완구 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **-*, *층 (서초동, 썬라이즈빌딩)(미로텍특허법률사무소)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 풍산마이크로텍 대한민국 부산광역시 해운대구
2 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 조기출원공개신청서
Request for Laying Open of Early Application
1997.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1997-0216277-69
2 출원심사청구서
Request for Examination
1997.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1997-0216279-50
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1997.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1997-0216278-15
4 특허출원서
Patent Application
1997.12.16 수리 (Accepted) 1-1-1997-0216276-13
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1999.02.19 수리 (Accepted) 1-1-1999-5066518-56
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.08.24 수리 (Accepted) 4-1-1999-0109982-79
7 등록사정서
Decision to grant
1999.12.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0376986-45
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2000-0158623-79
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.02.08 수리 (Accepted) 4-1-2001-0012901-12
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2015-5150201-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

이송장치(600)로 이송된 리드프레임(700)을 센서(601)가 감지하고, 이 센서신호가 신호입출력부(300)를 통해 영상처리부(200)에 입력되며, 이 입력된 신호를 주제어 컴퓨터부(100)가 확인하여 조명제어부(500)를 구동하고, 이와 동기하여 CCD 카메라(400)를 구동시켜 영상처리부(200)를 통해 주제어 컴퓨터부(100)의 메모리로 영상을 입력하고, 이 입력된 영상신호를 주제어 컴퓨터부(100)가 양·부여부를 판단하고, 그 판단된 결과를 다시 이송장치(600)로 보내 양품·불량품의 자동분류 및 적재하는 일련의 과정이 자동으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 시스템

2 2

제 1항에 있어서, 이송장치로 이송되고 있는 대상물체를 센서와 조명제어부를 이용하여 순간정지촬영하고, 순간정지촬영한 영상을 영상입력장치로 컴퓨터에 입력시켜 양·부 여부를 판단하고, 판단된 결과를 이송장치로 보내어 양품·불량품의 자동분류·적재하는 일련의 진행과정이 자동으로 이루어지는 IC 리드프레임의 자동 검사 시스템

3 3

제 1항 또는 제 2항에 있어서, IC 리드프레임의 리드간격 자동 시각검사 장치에서의 동작 명령을 포인터지시기로 지시할 수 있고, 검사대상의 양·부의 여부 및 위치 크기를 시각적으로 출력하는 GUI(Graphic User Interface)로 이루어진 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임의 자동검사 시스템

4 4

고속으로 영상을 획득하기 위한 영상획득과정과, 패드를 이용한 기준좌표계 설정 검사 과정과, 패드위치를 찾아서 기준좌표계가 설정된 후의 리드스페이싱 검사과정과, 패드의 이동유무를 검사하는 패드이동 검사과정과, 테이프의 형상을 검사하는 테이프형상 검사과정과, 펀칭결함 검사과정과, 그리고 간단한 검사결과 통계처리과정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

5 5

제 4항에 있어서, 영상획득은 A, B 두 개의 영상버퍼(800)(801)를 이용하여 A영상버퍼(800)에 카메라(400) 영상을 입력받은 후, A영상버퍼(800)에서 주제어 컴퓨터부(100) 메모리로 영상데이타를 이동하는 동안 다른 B영상버퍼(801)에 계속해서 카메라(400)로부터 영상을 입력받고, 다음 영상입력에는 버퍼A, B의 역할을 바꾸는 과정을 반복적 수행하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

6 6

제 4항에 있어서, 기준좌표계 설정은 영상의 중앙을 지나는 수직 및 수평 방향의 두 직선(Lh, Lv)상에서의 패드의 경계점을 찾고, 이 경계점들로부터 개략적인 패드의 위치를 나타내는 직사각형을 구하고, 이 직사각형을 수직 및 수평 방향으로 각각 n등분하는 직선을 구하고, 이 직선들을 따라가면서 패드의 경계와 만나는 모두 4n개의 경계점을 구하고, 패드의 각 변마다의 n개의 경계점을 가장 잘 근사하는 직선을 구하고, 이것을 이용하여 패드의 중심과 기울기를 계산하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

7 7

제 4항에 있어서, 리드스페이싱은 패드위치를 찾아서 패드의 중심을 원점으로 하고 기울기만큼 회전된 좌표계를 기준좌표계(xy)로 설정하여 이를 검사에 이용하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

8 8

제 4항에 있어서 패드이동 유무은 댐바(Dam Bar)와 이에 대응하는 패드의 한 변 사이의 길이를 측정해서 검사하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

9 9

제 4항에 있어서 테이프 형상은 기준좌표계가 설정되면 리드프레임 테이프 경계선의 CAD 데이터를 기준좌표계 상으로 변환하고(도 6의 두꺼운 직사각형), 상기 기준좌표계 상으로 변환된 테이프 경계선을 주어진 공차만큼 확대 및 축소하고(도 6의 점선), 검사하고자 하는 테이프(도 6의 회색영역)의 경계선이 놓여야 할 영역을 설정하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

10 10

제 9항에 있어서, 확대된 경계선은 테이프 바깥에 위치하며 그 경계선 위치에 해당하는 영상은 일정한 값 이상의 밝은 화소의 개수가 일정비율 이상이어야 하고, 축소된 경계선은 테이프 내부에 위치하며 그 경계선 위치에 해당하는 영상은 일정한 밝기 이하의 어두운 화소의 개수가 일정비율 이상이어야 하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

11 11

제 9항에 있어서, 테이프 경계선을 확대/축소하는 방법은 임의의 다각형을 확대 및 축소하는 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

12 12

제 11항에 있어서, 다각형의 확대 및 축소는 다각형의 꼭지점중에서 가장 큰 y값을 가지는 꼭지점을 구한 후, 이 꼭지점을 공통으로 가지는 두 변의 위치를 조사하고, 이 꼭 지점과 다음 꼭지점 사이 변의 확대 또는 축소된 위치를 정하고, 꼭지점을 하나씩 옮겨가면서 옮겨간 꼭지점을 공통으로 하는 두 변의 위치와 바로 전의 확대 또는 축소된 변의 위치를 고려하여 현재 꼭지점과 다음 꼭지점 사이 변의 확대 또는 축소된 위치를 정하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

13 13

제 4항에 있어서 펀칭결함은 지정된 펀칭 위치에서 펀칭된 영역을 찾고, 이 영역의 면적, 경계선(perimeter)의 길이 그리고 조밀도(compactness)등과 같은 기하학적인 특징을 이용하여 검사하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

14 14

제4항에 있어서, 상기 영상획득수단과 검사수단을 두 개의 독립된 스레드로 설계하되, 그 영상획득수단에는 두 개 이상의 영상버퍼(800)(801)를 이용함으로서, 검사가 진행중이더라도 한 개 이상의 영상을 미리 획득할 수 있도록 하여 전체 검사속도를 높이는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

15 15

제 14항에 있어서, 영상획득 스레드는 리드프레임의 이송을 시작하는 담계(S10)와, 이송된 부품을 센서가 검출했는지를 판단하여 검출했으면 다음 S12로 이동하고 아니면 이 과정을 반복해서 수행하는 단계(S11)와, 영상획득 조명제어부하여(S12) 빈버퍼인지를 판단하여 빈버퍼이면 상기 S11로 되돌아 상기 과정을 반복 수행하고 아니면 다음 S14로 이동하는 단계(S13)과, 이송을 정지하여(S14) 다시 빈버퍼인가를 판단하여 빈버퍼이면 상기 S10으로 이동하고 아니면 본 과정을 반복적으로 수행(S15)하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

16 16

제 14항에 있어서, 검사 스레드는 버퍼영상인지를 판단하여 버퍼영상이면 S21로 이동하고 아니면 본 과정을 반복해서 수행하는 단계(S20)와, 다음 검출패드인지를 판단하여 검출패드이면 S22로 이동하고 아니면 상기 S20으로 이동하는 단계(S21)과, 다음 검사를 하여(S22) 결함이 있는가를 판단하여 있으면 결점신호(S25)을 거쳐 상기 S20으로 이동하고, 없으면 통과신호(S24)를 거쳐 상기 S20으로 보내는 과정을 수행(S23)하는 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 방법

17 17

IC 리드프레임 자동 이송장치에 있어서, 스트립(STRIP) 제품이 번들(BUNDLE) 단위로 장착되는 투입 매거진(MAGAZINE)(1)과, 로봇(ROBOT)축을 사용하여 제품 간지 위치 이송 및 흡착하는 투입이송장치(2)와, 제품 2매 진입을 센싱하는 2매 검출 센서(3)과, 2개소에 설치되며 간지 제거통인 간지 취출 박스(4)와, 롤러를 이용하여 투입된 제품을 이송하는 이송장치(FEEDING DEVICE)(5)와, 제품을 촬영하고 제어신호를 출력하는 카메라 및 램프(6)와, 이송되는 제품을 감지하여 카메라 촬영위치를 설정하는 감지센서(7)와, 불량제품을 스택킹하는 불량 스택커(STACKER)(8)과, 제품을 취출부로 이송하는 취출장치(9)와, 양품제품을 적층(STACKING) 이송하는 취출이송장치(10)과, 간지를 적치하는 간지 투입 매거진(11)과, 제품 스택킹 취출 장착대인 제품취출 매거진(12)와, 운전 조작패널인 O/P 패널(13)과, 이 시스템을 제어하는 제어장치(14)로 구성된 것을 특징으로 하는 IC 리드프레임 자동검사 장치

지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
패밀리 정보가 없습니다

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP11186487 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JPH11186487 JP 일본 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.