요약 | 본 발명은 센서신호로 IC 리드프레임을 확인하여 조명을 구동시키고 동시에 CCD 카메라를 구동시켜 영상을 획득하고 상기 획득된 영상으로부터 리드프레임에 부착된 테이프를 자동검사하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 상기 영상획득부분과 테이프 검사부분을 두 개의 독립된 스레드(thread)로 설계하여 검사가 진행중이더라도 영상을 획득할 수 있는 방법을 제공하며, 특히 영상획득부분은 두 개 이상의 영상 버퍼(buffer)를 사용하여 검사가 진행중이더라도 한 개 이상의 영상을 미리 저장 할 수 있도록하여 전체 검사속도를 높이는 방법과, 리드프레임 패드위치 찾기를 수행한 다음 상기 패드위치로부터 패드의 중심점과 패드의 기울기를 이용하여 기준좌표계를 설정하고 상기 기준좌표계 상에서 테이프의 도면 데이타를 적용하여 테이프 검사를 수행함으로서, 상기 획득된 영상에 나타나는 리드프레임의 위치가, 이송장치의 이송오차나 기계적인 진동에의해 가변적이더라도 정확한 테이프의 위치에서 테이프 검사를 수행하는 방법과, 테이프의 경계선상에 위치하는 영상정보만을 이용함으로서 고속으로 테이프 검사를 수행하는 방법을 제공하며 임의의 다각형을 확대 및 축소하는 방법을 고안하여 어떤 형태의 테이프에 대해서도 유연하고 쉽게 테이프를 검사하는 방법이다. |
---|---|
Int. CL | H01L 21/66 (2006.01) |
CPC | G01N 21/8806(2013.01) G01N 21/8806(2013.01) |
출원번호/일자 | 1019970067561 (1997.12.10) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | 10-0249807-0000 (1999.12.28) |
공개번호/일자 | 10-1998-0005991 (1998.03.30) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20000315) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (1997.12.10) |
심사청구항수 | 5 |