전체 구조물의 중앙에 형성된 구조체 앵커와;

상기 구조체 앵커의 외부에 구비되어 상하 방향과 좌우 방향의 2축에 대해 모두 대칭인 모양을 갖는 꺾인 보 스프링과;

상기 꺾인 보 스프링으로 구조체 앵커에 연결되어 기판으로 부터 떠있는 평면 진동 구조체와;

상기 평면 진동 구조체가 상기 구조체 앵커에 대하여 좌우 방향으로 진동함과 동시에 회전 각속도가 가해질 경우 상하 방향으로 진동하도록 상기 평면 진동 구조체의 좌우 양측에 구비되어 진동 구조체에 좌우 방향 정전력을 제공하는 빗살 구동 전극과;

상기 빗살 구동 전극에 구동 신호를 가하여 진동을 발생시키도록 금속 전극이 구비된 구동 전극 앵커와;

상기 평면 진동 구조체가 외부 각속도에 의한 코리올리 힘을 받을 때 생기는 진동을 정전 용량 법으로 검출하도록 상기 평면 진동 구조체의 상하 양단에 구비된 검출 전극과;

상기 검출 전극으로 부터의 정전 용량 변화를 검출 신호로 받기위해 금속 전극이 구비된 검출 전극 앵커로 구성된 것을 특징으로 하는 평면 진동형 마이크로 자이로스코프

제 1 항에 있어서,

상기 꺽인 보 스프링은,

상하 및 좌우 방향의 진동 모드을 동일하게 하고, 주파수 조율이 필요 없이 고감도로 센싱하도록 상기 구조체의 상하 및 좌우의 두 축에 대해 대칭으로 배치하여 구성된 것을 특징으로 하는 평면 진동형 마이크로 자이로스코프

제 1 항에 있어서,

상기 기판은,

상기 평면 진동 구조체의 하부로 어떤 전극이나 배선의 박막 형성도 필요 없도록 SOI 웨이퍼의 기판 미세 가공을 이용해 제작된 것을 특징으로하는 평면 진동형 마이크로 자이로스코프

제 1 항 내지 제 3 항중의 어느 한 항에 있어서,

상기 검출전극은,

서로 좁은 검출 간격과 넓은 검출 간격의 배열을 이루며 배치되어, 좌우 방향의 구동 진동에 대해서는 둔감하고 상하 방향의 검출 진동의 방향에 대해서는 민감한 정전용량의 변화를 상하부 검출 전극이 검출하도록 상기 검출 전극 앵커에 붙어 있는 고정 검출 전극과 상기 평면 진동 구조체에 붙어 있는 이동 검출 전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 평면 진동형 마이크로 자이로스코프

제 1 항에 있어서,

검출 방향의 진동이 존재할 경우 상기 빗살 구동 전극에서 발생할 수 있는 불안정성을 예방하도록 상기 빗살 구동 전극 대신 상기 검출 전극과 형태가 비슷하며 구동 신호에 따른 진동의 행정을 키울 수 있게 하는 구동 전극이 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 평면 진동형 마이크로 자이로스코프