마이크로 홀의 진직도를 측정키 위해 현미경 렌즈(1)와 수많은 단위셀이 부착된 CCD 카메라(2)와;

상기 CCD 카메라(2)에 구비된 현미경렌즈(1)의 초점을 조절하도록 하는 Z축 구동 스테이지(3)를 포함하는 3축 정밀 구동 스테이지와;

빛의 세기에 비례하여 상기 CCD 카메라(2)의 단위셀에 의해 발생되는 아나로그 신호를 디지털 신호화 하는 A/D컨버터가 장착된 컴퓨터(8)와;

측정시편(9)이 장착된 스테이지(10)의 하부에 설치된 배사조명장치(11)로 구성된 비접촉 광학계를 이용한 미세홀의 진직도 측정장치

제 1 항에 있어서,

상기 3축 정밀 이동 스테이지는 현미경 렌즈(1)의 초점을 조절하도록 하는 Z축 구동 스테이지(3)와; 측정시편(9)에 대한 X축 변위 및 Y축 변위를 정밀하게 조절하도록 하는 X축 구동 스테이지(5) 및 Y축 구동 스테이지(4)로 구성됨을 특징으로 하는 비접촉 광학계를 이용한 미세홀의 진직도 측정장치

정밀 이동 스테이지가 구동 되는 비접촉 광학 측정 시스템과 고해상도 CCD 카메라를 적용하여 배사조명에서 출사된 빛을 현미경 렌즈를 통해 화소(픽셀) 수가 고집적화된 CCD 카메라에 도달하도록 하고,

상기 CCD 카메라는 수 십만 내지 수백만개의 단위 셀에 의해 빛의 세기에 비례하게 전압을 나타내는 아나로그 전기적 신호를 A/D Converter에 의해 디지털 신호화하는 컴퓨터로 전송하여 상단 홀에서 출사되는 이미지를 해석할 수 있도록 하므로서 시편 내부의 굴곡에 따른 상단 홀의 화상 음영과 이들 음영에 대응하는 전하의 세기의 편차값에 의해 측정물의 진직도를 계산하므로서 CCD 소자 단위 픽셀에 대응한 전하 값에 따른 편차로 진직도를 측정하도록 함을 특징으로 하는 비접촉 광학계를 이용한 미세 홀의 진직도 측정방법