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파리눈 렌즈를 구비하는 사입사 조명계 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015077174
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 사입사 조명계에 보다 많은 양의 빛을 투과하여 작업처리량을 증가시킬 수 있으며 용이한 방법으로 제조할 수 있는, 파리눈 렌즈를 구비하는 사입사 조명계 제조 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은, 그 중심부에 위치하는 차광영역과 상기 차광영역의 주변부에 파리눈 렌즈로 이루어지는 투광영역을 포함하는 사입사 조명계 제조 방법에 있어서, 투명 기판의 전면 상에, 그 두께에 따라 차광특성 및 투광특성을 갖는 물질로 차광패턴을 형성하는 단계, 상기 투명 기판 전면의 상기 파리눈 렌즈 영역에 그 표면이 굴곡진 제1 레지스트 패턴을 형성하는 단계 및 상기 투명기판과 상기 제2레지스트 패턴에 대한 식각비가 동일한 조건으로 식각을 실시하여 상기 투명 기판의 전면에 그 표면이 굴곡을 갖는 파리눈 렌즈를 형성하는 단계를 포함하는 사입사 조명계 제조 방법을 제공한다.사입사 조명계, 파리눈 렌즈, 변형, 투광영역, 차광영역, 부분 투광영역
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/70091(2013.01) G03F 7/70091(2013.01)
출원번호/일자 1019990022660 (1999.06.17)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0388490-0000 (2003.06.10)
공개번호/일자 10-2001-0002724 (2001.01.15) 문서열기
공고번호/일자 (20030625) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.08.23)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최상수 대한민국 대전광역시 유성구
2 이각현 대한민국 대전광역시유성구
3 김도훈 대한민국 대전광역시유성구
4 정해빈 대한민국 대전광역시유성구
5 조경익 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원서
Patent Application		 1999.06.17 수리 (Accepted) 1-1-1999-0062785-08
2 출원심사청구서
Request for Examination		 2000.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2000-0176253-53
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.03.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0167587-02
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.05.14 수리 (Accepted) 9-1-2002-0002221-45
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2002.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2002-0223477-34
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 의견서
Written Opinion		 2002.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2002-0259395-76
10 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.08.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0259393-85
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2003.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0054269-16
12 명세서 등 보정서 (심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2003.03.17 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2003-0001850-41
13 등록결정서
Decision to grant		 2003.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0181666-74
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

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3 3

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4 4

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5 5

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6 6

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7 7

파리눈 렌즈 형성 방법에 있어서,

투명 기판 상에 파리눈 렌즈 영역을 덮는 제1 레지스트 패턴을 형성하는 제1 단계;

상기 제1 레지스트 패턴을 열처리하여 그 표면이 굴곡을 갖는 제2 레지스트 패턴을 형성하는 제2 단계; 및

상기 투명기판과 상기 제2레지스트 패턴에 대한 식각비가 동일한 조건으로 식각을 실시하여 상기 투명 기판에 그 표면이 굴곡을 갖는 파리눈 렌즈를 형성하는 제3 단계

를 포함하는 파리눈 렌즈 형성 방법

8 8

제 7 항에 있어서,

상기 제2 단계 후,

상기 제2 레지스트 패턴의 굴곡 형태가 드러나도록, 전체 구조 상에 제3 레지스트를 도포하는 제4 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파리눈 렌즈 형성 방법

9 9

제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,

상기 투명기판은,

유리, 수정, 용융석영, CaF2, MgF2, LaF3 또는 LiF으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 파리눈 렌즈 형성 방법

10 10

제 9 항에 있어서,

상기 제2 단계에서 120 ℃가 넘는 온도로 열처리하는 것을 특징으로 하는 파리눈 렌즈 형성 방법

11 11

그 중심부에 위치하는 차광영역과 상기 차광영역의 주변부에 파리눈 렌즈로 이루어지는 투광영역을 포함하는 사입사 조명계 제조 방법에 있어서,

투명 기판의 전면 상에, 그 두께에 따라 차광특성 및 투광특성을 갖는 물질로 차광패턴을 형성하는 제1 단계;

상기 투명 기판 전면에 상기 파리눈 렌즈 영역에 그 표면이 굴곡진 제1 레지스트 패턴을 형성하는 제2 단계; 및

상기 투명기판과 제1 레지스트 패턴에 대한 식각비가 동일한 조건으로 식각을 실시하여 상기 투명 기판의 상기 차광영역의 주변부에 그 표면이 굴곡을 갖는 파리눈 렌즈를 형성하는 제3 단계

를 포함하는 사입사 조명계 제조 방법

12 12

제 11 항에 있어서,

상기 제2 단계는,

상기 제1 단계가 완료된 상기 투명 기판의 전면 상에 제1 레지스트를 도포하는 단계;

상기 투명 기판 전면 상에 형성된 상기 차광패턴을 마스크로 이용하여 상기 투명 기판의 후면에 빛을 조사하는 노광공정을 실시하는 단계; 및

상기 제1 레지스트를 현상하고 열처리하여 상기 제1 레지스트 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 사입사 조명계 제조 방법

13 13

제 11 항에 있어서,

상기 제2 단계 후,

상기 제1 레지스트 패턴의 굴곡 형태가 드러나도록, 전체 구조 상에 제2 레지스트를 도포하는 제4 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 사입사 조명계 제조 방법

14 14

제 13 항에 있어서,

상기 제4 단계 후,

상기 제2 레지스트를 선택적으로 제거하여 상기 차광영역 및 상기 투광영역 이외의 영역 상에 형성된 상기 차광패턴을 노출시키는 제5 단계; 및

상기 제5 단계에서 노출된 상기 차광패턴의 일부 두께를 제거하여 부분 투광영역을 형성하는 제6 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 사입사 조명계 제조 방법

15 15

제 14 항에 있어서,

상기 투명 기판은,

유리, 수정, 용융석영, CaF2, MgF2, LaF3 또는 LiF으로 이루어지고,

상기 차광패턴은

Cr, Al, Ti, W, Mo 또는 Si으로 형성하는 것을 특징으로 하는 사입사 조명계 제조 방법

16 16

제 15 항에 있어서,

상기 차광패턴은 10000 Å이 넘는 두께의 Cr, Al, Ti, W, Mo 또는 Si로 형성하고,

상기 부분 투광영역은 20 Å 내지 500 Å의 두께의 Cr, Al, Ti, W, Mo 또는 Si로 형성하는 것을 특징으로 하는 사입사 조명계 제조 방법

17 17

제 16 항에 있어서,

상기 제2 단계에서 120 ℃가 넘는 온도로 열처리하는 것을 특징으로 하는 사입사 조명계 제조 방법

18 18

제 17 항에 있어서,

상기 투광영역은,

4중점, 6중점 또는 고리형태를 갖는 것을 특징으로 하는 사입사 조명계 제조 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.