맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

리소그래피 장비에서 복굴절 광학 유니트를 사용하는 변형 조명 장치

  • 기술번호 : KST2015077298
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 노광 장비의 조명 광학계에 있어서 노광 장비의 초점 심도와 해상도를 증가시키기 위하여 복굴절 광학 부품을 사용한 리소그래피 장비의 변형 조명 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.본 발명에 따르면, 광원으로부터 입사되는 빛을 일정한 모양으로 정형하기 위한 광속 확대기와 파리눈 렌즈 인터그레이터(Fly's Eye Integrator), 상기 광속 확대기로부터 전달되는 광을 효율적으로 상기 파리눈 렌즈 인터그레이터에 전달하기 위한 줌 렌즈 및 변형 조명(Modified Illumination)을 위하여 상기 파리눈 렌즈 인터그레이터에 삽입되어 있는 변형 조명판을 포함하여 이루어진 리소그래피(Lithography) 장비의 변형 조명 장치에 있어서, 상기 광속 확대기로부터 입사된 빛을 변형 조명으로 생성하여 상기 파리눈 렌즈 인터그레이터에 전달하고, 조명 에너지의 손실을 감소시키기 위한 다수의 복굴절 광학부로 이루어져 있는 복굴절 광학 유니트를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 리소그래피 장비의 변형 조명 장치가 제공된다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/70075(2013.01) G03F 7/70075(2013.01) G03F 7/70075(2013.01)
출원번호/일자 1019990054156 (1999.12.01)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0347517-0000 (2002.07.23)
공개번호/일자 10-2001-0053689 (2001.07.02) 문서열기
공고번호/일자 (20020807) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1999.12.01)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김도훈 대한민국 대전광역시유성구
2 정해빈 대한민국 대전광역시유성구
3 김대용 대한민국 대전광역시중구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 전영일 대한민국 광주 북구 첨단과기로***번길**, ***호(오룡동)(특허법인세아 (광주분사무소))

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1999.12.01 수리 (Accepted) 1-1-1999-0160607-66
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2001.07.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2001.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2001-0014209-98
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2001.11.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0319794-88
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.01.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0020056-76
7 의견서
Written Opinion		 2002.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2002-0020046-19
8 등록결정서
Decision to grant		 2002.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0160706-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

리소그래피 장비의 변형 조명 장치에 있어서,

광원으로부터 입사되는 빛을 일정한 모양으로 정형하기 위한 광속 확대기;

파리눈 렌즈 인터그레이터(Fly's Eye Integrator);

상기 광속 확대기로부터 전달되는 광을 효율적으로 상기 파리눈 렌즈 인터그레이터에 전달하기 위한 줌 렌즈;

변형 조명(Modified Illumination)을 위하여 상기 파리눈 렌즈 인터그레이터에 삽입되어 있는 변형 조명판; 및

상기 광속 확대기로부터 입사된 빛을 변형 조명으로 생성하여 상기 파리눈 렌즈 인터그레이터에 전달하고, 조명 에너지의 손실을 감소시키기 위한 다수의 복굴절 광학부로 이루어져 있는 복굴절 광학 유니트를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 리소그래피 장비의 변형 조명 장치

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 복굴절 광학 유니트는,

상기 광원과 광속 확대기 사이에 설치된 것을 특징으로 하는 리소그래피 장비의 변형 조명 장치

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 복굴절 광학 유니트는,

상기 광속 확대기와 줌 렌즈 사이에 설치된 것을 특징으로 하는 리소그래피 장비의 변형 조명 장치

4 4

제 2 항에 있어서,

상기 복굴절 광학 유니트는,

2 개의 광속으로 분리하기 위하여 하나의 복굴절 광학부로 이루어진 것을 특징으로 하는 리소그래피 장비의 변형 조명 장치

5 5

제 2 항에 있어서,

상기 복굴절 광학 유니트는,

4 개의 광속으로 분리하기 위하여 두 개의 복굴절 광학부로 이루어진 것을 특징으로 하는 리소그래피 장비의 변형 조명 장치

6 6

제 1 항에 있어서,

상기 다수의 복굴절 광학부는 각각의 결정축이 복굴절 물질의 편광 상태를 감안하여 소정의 각도를 유지하도록 설치된 것을 특징으로 하는 리소그래피 장비의 변형 조명 장치

7 7

삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.