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노광장비에서 광학계를 사용하여 원본 마스크의 상을 기판위에 도포된 감광제 층에 상이 맺히도록 하여 미세 형상을 만들어 주기 위한 광학계의 초점심도 조절방법에 있어서, 광학계를 형성하는 부품 또는 일부부품을 복굴절 물질로 제작된 투과형 광학부품 또는 이들의 결합으로 이루어지는 광학 유니트를 사용하여, 광학계에 의해 맺히는 상이 광축 방향으로 서로 다른 위치에 맺히게 하여 초점심도를 확장하고, 그 범위를 조절, 유지하도록 함을 특징으로 하는 복굴절 물질을 이용한 광학계의 초점심도 확장범위 조절방법
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제 1 항에 있어서, 상기 광학계를 이루는 부품은 복굴절 물질로 제작된 투과형 평행평판 광학부품을 2쌍 이상으로 제작하여 결합한 상태에서 부품의 회전을 통하여 방향을 조절하여 초점심도를 조절함을 특징으로 하는 복굴절 물질을 이용한 광학계의 초점심도 확장범위 조절방법
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제 1 항에 있어서, 상기 광학계를 이루는 부품은 복굴절 물질로 제작된 투과형 광학쐐기 부품을 2쌍 이상으로 제작하여 결합한 상태에서 두께를 변화시켜 초점심도를 조절함을 특징으로 하는 복굴절 물질을 이용한 광학계의 초점심도 확장범위 조절방법
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제 1 항에 있어서, 상기 광학계를 이루는 부품은 복굴절 물질로 제작된 투과형 평행평판형 광학쐐기 부품을 2쌍, 그 이상으로 제작하여 결합한 상태에서 두께를 변화와 방향 조절을 함께 하여 초점심도를 조절함을 특징으로 하는 복굴절 물질을 이용한 광학계의 초점심도 확장범위 조절방법
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원본 마스크의 상을 기판위에 도포된 감광제 층에 상이 맺히도록 하여 미세 형상을 만들어 주기 위한 노광장비의 광학계에 있어서, 상기 광학계를 형성하는 부품은 복굴절 물질로 제작된 투과형 광학부품 또는 이들의 결합으로 이루어지는 광학 유니트이며, 상기 복굴절 물질로 제작된 광학 유니트로 된 광학계에 의해 맺히는 상이 광축 방향으로 서로 다른 위치에 맺히게 하여 초점심도를 확장하고, 그 범위를 조절, 유지하도록 함을 특징으로 하는 복굴절 물질을 이용한 광학계의 초점심도 확장범위 조절장치
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제 5 항에 있어서, 상기 광학 유니트는 복굴절 물질로 제작된 투과형 평행평판 광학부품을 2쌍, 또는 그 이상으로 제작하여 결합한 상태에서 부품의 회전을 통하여 방향을 조절하여 초점심도를 확장하고, 그 범위를 조절, 유지하도록 함을 특징으로 하는 복굴절 물질을 이용한 광학계의 초점심도 확장범위 조절장치
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제 5 항에 있어서, 상기 광학 유니트는 복굴절 물질로 제작된 투과형 광학쐐기 부품을 2쌍, 그 이상으로 제작하여 결합한 상태에서 두께를 변화시켜 초점심도를 확장하고, 그 범위를 조절, 유지하도록 함을 특징으로 하는 복굴절 물질을 이용한 광학계의 초점심도 확장범위 조절장치
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