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희토류 금속이온이 함유된 제1물질로 이루어진 증폭용 도파로 및 그 각각이 희토류 금속이온이 함유되지 않은 제2물질로 이루어진 입력 도파로 및 출력 도파로를 구비하는 광증폭기에 있어서, 상기 증폭용 도파로의 일단부와 상기 입력 도파로가 클래드층을 사이에 두고 중첩되는 구조의 제1광결합기; 및 상기 증폭용 도파로의 타단부와 상기 출력 도파로가 클래드층을 사이에 두고 중첩되는 구조의 제2광결합기 를 포함하는 광증폭기
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제 1 항에 있어서, 상기 입력 도파로는, 신호광 입력 도파로; 상기 신호광 입력 도파로와 제1 간격을 두고 중첩된 펌핑광 입력 도파로; 및 상기 펌핑광 입력 도파로와 연결되며 상기 신호광 입력 도파로와 상기 제1 간격 보다 작은 제2 간격을 두고 중첩된 다중화기 를 포함하는 광증폭기
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광증폭기에 있어서, 기판; 상기 기판 상에 형성된 버퍼층; 상기 버퍼층 상에 형성된 상기 신호광 입력 도파로; 상기 버퍼층 상에 상기 신호광 입력 도파로 코아와 분리되어 형성된 신호광 출력 도파로; 상기 버퍼층, 상기 신호광 입력 도파로 및 상기 신호광 출력 도파로를 덮는 클래드층; 및 상기 클래드층 상부에 형성되고 그 일단부가 상기 신호광 입력 도파로 코아와 중첩되어 제1 광결합기를 이루고 그 타단부가 상기 신호광 출력 도파로 코아에 중첩되어 제2 광결합기를 이루는 제1 도파로 를 포함하는 광증폭기
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제 5 항에 있어서, 상기 신호광 입력 도파로와 제1 간격을 두고 중첩된 펌핑광 입력 도파로; 및 상기 펌핑광 입력 도파로와 연결되며 상기 신호광 입력 도파로와 제2 간격을 두고 중첩되는 다중화기 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광증폭기
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광증폭기 제조 방법에 있어서, 기판 상부에 희토류 금속이온이 첨가되지 않은 제1 도파로층을 형성하는 제1 단계; 상기 제1 도파로층을 가공하여 신호광 입력 도파로 및 신호광 출력 도파로를 포함하는 도파로 소자를 형성하는 제2 단계; 상기 제2 단계가 완료된 전체 구조 상에 클래드층을 형성하는 제3 단계; 상기 클래드층 상에 광증폭용 제2 도파로층을 형성하는 제4 단계; 및 상기 제2 도파로층을 선택적으로 식각하여 그 일단부 및 타단부가 각각 상기 신호광 입력 도파로와 신호광 출력 도파로와 중첩된 광증폭용 도파로를 형성하는 제5 단계 를 포함하는 광증폭기 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제1 단계에서, 상기 제1 도파로층을 기판 상에 형성된 하부 클래드층 상에 형성하는 것을 특징으로 하는 광 증폭기 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 제5 단계 후, 상기 클래드층 및 상기 도파로의 일부를 선택적으로 제거하여 테라스를 형성하는 단계; 상기 테라스에 펌핑 레이저 다이오드 또는 수광 다이오드 칩을 집적하는 단계; 및 상기 신호광 입력 도파로 및 상기 신호광 출력 도파로에 각각 광섬유를 연결하는 단계 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광증폭기 제조 방법
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