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피검사체의 표면을 검사하기 위한 표면 검사 장치에 있어서, 상기 피검사체의 표면 영상을 획득하기 위한 영상 획득 수단; 및 상기 획득된 피검사체의 표면 영상에 대한 명도 변화 크기(the magnitude of the intensity gradient)와 명도 변화 방향(the orientation of the intensity gradient)을 이용하여 얼룩이나 이물질 등의 대칭성을 강조하여 상기 얼룩이나 이물질 등을 검출하기 위한 제어 수단 을 포함하는 표면 검사 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제어 수단은, 상기 피검사체의 표면 영상을 입력받아 경사 연산자(gradient operator)를 이용하여 각 화소(pixel)의 명도 변화 크기와 화소의 명도 변화 방향을 획득한 후에, 상기 획득한 두 가지 명도 정보를 이용하여 얼룩이나 이물질 등의 자체 내부 대칭성이 부각된 대칭도 맵(symmetry magnitude map)을 얻어 상기 얼룩이나 이물질 등을 검출하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 제어 수단이 명도 변화 크기와 명도 변화 방향을 획득하는 과정은, 소정의 화소를 기준으로 하여 그 기준 화소의 옆쪽에 존재하는 화소의 명도 차이 값과 상기 기준 화소의 아래쪽 또는 위쪽에 존재하는 화소의 명도 차이 값의 평균제곱근(root mean square)을 취하여 화소의 명도 변화 크기를 구한 후에, 상기 두 개의 명도 차이 값의 벡터 곱으로 구해지는 새로운 벡터의 방향을 화소의 명도 변화 방향으로 취하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치
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제 2 항에 있어서, 상기 제어 수단이 대칭도 맵(symmetry magnitude map)을 획득하는 과정은, 대칭 쌍(pair)들의 대칭 기여도(symmetry contribution)를 누적하여 대칭도(symmetry magnitude)를 측정하고, 각 화소에 대한 상기 대칭도를 영상 좌표에 사상(mapping)시켜 대칭도 맵을 획득하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치
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제 4 항에 있어서, 상기 대칭 기여도는, 배경의 명도 변화나 배경 무늬에 상관없이 얼룩이나 이물질 등에 의한 대칭 기여도만이 누적되도록 하기 위하여, 거리 가중 함수(distance weighting function), 위상 가중 함수(phase weighting function), 대칭 쌍의 두 화소의 명도 변화 크기의 곱, 대칭 쌍의 화소의 명도 변화 방향이 수렴하는지 발산하는지에 대한 값 및 대칭 쌍의 화소의 명도 변화 방향이 동일방향인지 타방향인지에 대한 값을 곱하여 구하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 장치
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제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 영상 획득 수단은, 상기 제어 수단의 제어에 따라 구동되어 구동력을 제공하기 위한 구동력 제공 수단; 상기 구동력 제공 수단에 의해 움직이면서 상기 피검사체의 위치를 이동시키기 위한 이동 수단; 상기 이동 수단 상에 위치하는 상기 피검사체의 표면을 촬영한 영상을 입력하기 위한 영상 입력 수단; 및 상기 영상 입력 수단을 통하여 입력되는 영상을 전처리하기 위한 영상 처리 수단 을 포함하는 표면 검사 장치
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표면 검사 장치에 적용되는 표면 검사 방법에 있어서, 피검사체의 표면 영상을 입력받아 경사 연산자(gradient operator)를 이용하여 화소(pixel)의 명도 변화 크기(the magnitude of the intensity gradient)와 화소의 명도 변화 방향(the orientation of the intensity gradient)을 획득하는 제 1 단계; 상기 제 1 단계에서 획득한 명도 정보를 이용하여 얼룩이나 이물질 등의 대칭성이 부각된 대칭도 맵(symmetry magnitude map)을 획득하는 제 2 단계; 및 상기 제 2 단계에서 획득한 대칭도 맵(symmetry magnitude map)을 이용하여 상기 얼룩이나 이물질 등을 검출하는 제 3 단계 를 포함하는 표면 검사 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 1 단계는, 상기 피검사체의 표면 영상을 입력받는 제 4 단계; 소정의 한 화소를 기준으로 하여 그 기준 화소의 옆쪽에 존재하는 화소의 명도 차이 값과 상기 기준 화소의 아래쪽 또는 위쪽에 존재하는 화소의 명도 차이 값의 평균제곱근(root mean square)을 취하여 화소의 명도 변화 크기를 구하는 제 5 단계; 및 상기 제 5 단계에서 구한 두 개의 명도 차이 값의 벡터 곱으로 구해지는 새로운 벡터의 방향을 화소의 명도 변화 방향으로 취하는 제 6 단계 를 포함하는 표면 검사 방법
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제 7 항 또는 제 8 항에 있어서, 상기 제 2 단계는, 상기 소정의 화소를 기준으로 하여 찾고자 하는 얼룩이나 이물질의 최대 크기 만큼의 일정 영역 안에서 대칭 위치에 존재하는 화소들인 대칭 쌍(pair)들의 대칭 기여도(symmetry contribution)를 누적하여 상기 기준 화소를 중심으로 한 영역의 대칭도(symmetry magnitude)를 측정하는 제 7 단계; 및 각 화소에 대한 대칭도를 영상 좌표에 사상(mapping)시켜 대칭도 맵을 획득하는 제 8 단계 를 포함하는 표면 검사 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 대칭 기여도는, 배경의 명도 변화나 배경 무늬에 상관없이 얼룩이나 이물질 등에 의한 대칭 기여도만이 누적되도록 하기 위하여, 거리 가중 함수(distance weighting function), 위상 가중 함수(phase weighting function), 대칭 쌍의 두 화소의 명도 변화 크기의 곱, 대칭 쌍의 화소의 명도 변화 방향이 수렴하는지 발산하는지에 대한 값 및 대칭 쌍의 화소의 명도 변화 방향이 동일방향인지 타방향인지에 대한 값을 곱하여 구하는 것을 특징으로 하는 표면 검사 방법
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대용량 프로세서를 구비한 표면 검사 장치에, 피검사체의 표면 영상을 입력받아 경사 연산자(gradient operator)를 이용하여 화소(pixel)의 명도 변화 크기(the magnitude of the intensity gradient)와 화소의 명도 변화 방향(the orientation of the intensity gradient)을 획득하는 제 1 기능; 상기 제 1 기능에서 획득한 명도 정보를 이용하여 얼룩이나 이물질 등의 대칭성이 부각된 대칭도 맵(symmetry magnitude map)을 획득하는 제 2 기능; 및 상기 제 2 기능에서 획득한 대칭도 맵(symmetry magnitude map)을 이용하여 상기 얼룩이나 이물질 등을 검출하는 제 3 기능 을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체
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