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기판상에 구비되며 제1 극성의 전압을 인가받는 이동전극과, 상기 기판상에 고정되며 제2 극성의 전압을 인가받는 고정전극을 구비하여, 상기 고정전극과 상기 이동전극의 전압차에 의해서, 상기 고정전극과 상기 이동전극에 각각 연결된 고정부와 이동부의 간격이 변하도록 하는 엑츄에이터; 상기 고정부 영역에 형성되며, 수직으로 식각된 복수의 판에 의하여 형성되는 고정거울; 및 상기 이동부 영역에 형성되며, 수직으로 식각된 복수의 판에 의하여 형성되는 이동거울 을 구비하며 상기 고정부와 이동부의 간격을 조절함으로서 상기 고정거울과 이동거울 사이의 공기층을 가변하여, 상기 고정거울과 이동거울을 통과하는 광의 파장을 변화시킬 수 있는 가변광필터
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제1항에 있어서, 상기 고정거울과 이동거울의 판은 실리콘으로 이루어지고, 상기 판은 각각 (2m+1)λ/4n (n=Si의 굴절율, m = 0, 1, 2,
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제1항에 있어서, 상기 이동거울 판의 하부에는 희생층으로 적어도 산화막을 구성하는 것을 특징으로 하는 가변광필터
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제1항에 있어서, 상기 고정전극과 상기 이동전극은 판스프링과 연결되는 것을 특징으로 하는 가변광필터
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제4항에 있어서, 상기 판스프링은 실리콘으로 이루어지고, 상기 판스프링과 이동전극 사이에는 변위 감소용 링크레버를 개재하는 것을 특징으로 하는 가변광필터
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기판상에 구비되며 제1 극성의 전압을 인가받는 이동전극과, 상기 기판상에 고정되며 제2 극성의 전압을 인가받는 고정전극을 구비하여, 상기 고정전극과 상기 이동전극의 전압차에 의해서, 상기 고정전극과 상기 이동전극에 각각 연결된 고정부와 이동부의 간격이 변하도록 하는 엑츄에이터; 상기 고정부 영역에 형성되며, 수직으로 식각된 복수의 판에 의하여 형성되는 고정거울; 및 상기 이동부 영역에 형성되며, 수직으로 식각된 복수의 판에 의하여 형성되는 이동거울을 구비하며 상기 고정부와 이동부의 간격을 조절함으로서 상기 고정거울과 이동거울 사이의 공기층을 가변하여, 상기 고정거울과 이동거울을 통과하는 광의 파장을 변화시킬 수 있는 가변광필터를 일정한 배열로 배치한 멀티플렉서 를 구비하고, 상기 멀티플렉서를 이용하여 입사광을 파장별로 분리하도록 하는 것을 특징으로 하는 광통신 소자
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기판상에 구비되며 제1 극성의 전압을 인가받는 이동전극과, 상기 기판상에 고정되며 제2 극성의 전압을 인가받는 고정전극을 구비하여, 상기 고정전극과 상기 이동전극의 전압차에 의해서, 상기 고정전극과 상기 이동전극에 각각 연결된 고정부와 이동부의 간격이 변하도록 하는 엑츄에이터; 상기 고정부 영역에 형성되며, 수직으로 식각된 복수의 판에 의하여 형성되는 고정거울; 및 상기 이동부 영역에 형성되며, 수직으로 식각된 복수의 판에 의하여 형성되는 이동거울을 구비하며 상기 고정부와 이동부의 간격을 조절함으로서 상기 고정거울과 이동거울 사이의 공기층을 가변하여, 상기 고정거울과 이동거울을 통과하는 광의 파장을 변화시킬 수 있는 가변광필터를 일정한 배열로 배치한 디멀티플렉서 를 구비하고, 상기 디멀티플렉서를 이용하여 입사광을 파장별로 합하도록 하는 것을 특징으로 하는 광통신 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 이동부의 허용오차를 향상시키기 위한 정밀 변위 감소용 레버를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 가변광필터
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