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가변 파브리-페로 필터에 있어서, 양단부에 각각 브이-그루브가 형성되고 상기 브이-그루브 사이의 실리콘 영역이 공진기 박막 매체가 되는 실리콘 블록; 각각 일측단에 고반사율 박막이 코팅되며, 상기 브이-그루브에 상기 고반사율 박막이 마주보도록 끼워져 정렬되는 두 개의 광섬유; 및 상기 공진기 매체에 열을 인가하기 위하여 형성된 열전극 을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 실리콘의 열광학 효과를 이용한 가변 파브리-페로 필터
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가변 파브리-페로 필터에 있어서, 양단부에 각각 브이-그루브가 형성된 실리콘 블록; 각각 일측단에 고반사율박막이 코팅되며, 상기 브이-그루브에 상기 고반사율박막이 마주보도록 끼워져 정렬되는 두 개의 광섬유; 상기 브이-그루브 사이의 실리콘 상에 형성된 고분자로 구성된 공진기 박막 매개체; 및 상기 공진기 박막 매체에 열을 인가하기 위하여 형성된 열전극 을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 고분자의 열광학 효과를 이용한 가변 파브리-페로 필터
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가변 파브리-페로 필터에 있어서, 양단부에 각각 브이-그루브가 형성되고 상기 브이-그루브 사이에 박편을 넣을 수 있는 홈이 형성된 실리콘 블록; 각각 일측단에 고반사율 박막이 코팅되며, 상기 브이-그루브에 상기 고반사율박막이 마주보도록 끼워져 정렬되는 두 개의 광섬유; 상기 홈에 끼워지는 고분자로 구성된 공진기 박막 매개체; 및 상기 공진기 박막 매체에 열을 인가하기 위하여 형성된 열전극 을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 고분자의 열광학 효과를 이용한 가변 파브리-페로 필터
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가변 파브리-페로 필터에 있어서, 양단부까지 확장되어 브이-그루브가 형성된 실리콘 블록; 각각 일측단에 고반사율 박막이 코팅되며, 상기 고반사율 박막이 일정 거리 이격되어 마주보도록 상기 브이-그루브에 끼워져 정렬되는 두 개의 광섬유; 상기 고반사율 박막 사이의 상기 브이-그루브에 형성된 고분자로 구성된 공진기 박막 매개체; 상기 공진기 박막 매체에 열을 인가하기 위하여 형성된 열전극 을 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 고분자의 열광학 효과를 이용한 가변 파브리-페로 필터
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제2항 내지 제5항중 어느한 항에 있어서, 상기 고반사율 박막은 다층으로 코팅된 유전체 박막임을 특징으로 하는 고분자의 열광학 효과를 이용한 가변 파브리-페로 필터
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제5항의 가변 파브리-페로 필터 제조 방법에 있어서, 양단부까지 확장되어 브이-그루브가 형성된 실리콘 블록을 준비하는 단계; 각각 일측단에 고반사율 박막이 코팅된 두 개의 광섬유를 준비하는 단계; 상기 고반사율박막이 일정거리 이격되어 마주보도록 상기 브이-그루브에 끼워 정렬시키는 단계; 상기 고반사율박막 사이의 상기 브이-그루브에 고분자를 주입한 후 경화시켜 고분자 공진기 박막 매체를 형성하는 단계; 및 상부를 평면 연마한 후 상기 고분자 공진기 박막 매체 상에 열전극을 형성하는 단계; 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 가변 파브리-페로 필터 제조 방법
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