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열구동형 마이크로 펌프 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015077898
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열구동형 마이크로 펌프 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명의 열구동형 마이크로 펌프는 실리콘기판을 소정 깊이로 식각하여 형성된 트렌치 구조의 주공간영역과 보조공간영역으로 이루어진 펌프 공간 영역, 상기 펌프 공간 영역의 양측에 형성된 트렌치 구조의 유로 영역, 상기 유로 영역과 상기 주공간영역의 일측 사이에 상기 실리콘기판을 식각하여 형성된 엇갈리는 사선형태의 실리콘라인으로 이루어져 상기 유로 영역에 인입되는 유체의 흐름을 한 방향으로 유도하는 유체 흐름 저항 영역, 상기 유로 영역의 양끝단에 형성된 유체의 입/출구 영역, 상기 유체의 입/출구 영역만을 오픈시키고 상기 실리콘기판 표면에 접합된 외벽막, 및 상기 주공간영역상의 상기 외벽막상에 형성되어 상기 주공간영역에 채워진 유체의 압력을 상승시키는 열전체를 포함하여 이루어진다.마이크로 펌프, 유체, 트렌치, 실리콘라인, 열전체
Int. CL B81C 1/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020000080895 (2000.12.22)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0411876-0000 (2003.12.08)
공개번호/일자 10-2002-0051290 (2002.06.28) 문서열기
공고번호/일자 (20031224) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.12.22)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최창억 대한민국 대전광역시유성구
2 장원익 대한민국 대전광역시유성구
3 전치훈 대한민국 대전광역시유성구
4 김윤태 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 서울특별시 강남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2000-0277261-10
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.04.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.05.19 수리 (Accepted) 9-1-2003-0017948-04
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0339596-82
7 의견서
Written Opinion		 2003.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-0403174-17
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.10.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0403171-81
9 등록결정서
Decision to grant		 2003.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0442556-50
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

마이크로 펌프에 있어서,

실리콘기판을 소정 깊이로 식각하여 형성된 트렌치 구조의 주공간영역과 보조공간영역으로 이루어진 펌프 공간 영역;

상기 펌프 공간 영역의 양측에 형성된 트렌치 구조의 유로 영역;

상기 유로 영역과 상기 주공간영역의 일측 사이에 상기 실리콘기판을 식각하여 형성된 엇갈리는 사선형태의 실리콘라인으로 이루어져 상기 유로 영역에 인입되는 유체의 흐름을 한 방향으로 유도하는 유체 흐름 저항 영역;

상기 유로 영역의 양끝단에 형성된 유체의 입/출구 영역;

상기 유체의 입/출구 영역만을 오픈시키고 상기 실리콘기판 표면에 접합된 외벽막; 및

상기 주공간영역상의 상기 외벽막상에 형성되어 상기 주공간영역에 채워진 유체의 압력을 상승시키는 열전체

를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 마이크로 펌프

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 주공간영역과 상기 보조공간영역 사이에 추가로 유로 영역이 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 외벽막은 폴리실리콘막인 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프

4 4

제 1 항에 있어서,

상기 열전체는 금속 또는 도핑된 폴리실리콘막 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프

5 5

제 1 항에 있어서,

상기 유체 흐름 저항 영역은 하나 또는 다수의 실리콘라인으로 이루어짐을 특징으로 하는 마이크로 펌프

6 6

제 1 항에 있어서,

상기 펌프 주공간영역은 사각형, 원형 또는 다각형 형태로 형성된 것을 특징 으로 하는 마이크로 펌프

7 7

마이크로 펌프의 제조 방법에 있어서,

실리콘기판을 트렌치 식각하여 서로 다른 라인대 스페이스비를 갖는 실리콘라인으로 이루어진 제 1, 2 영역을 형성하는 단계;

상기 제 1 , 2 영역을 열산화시켜 상기 제 1 영역을 열산화막으로 매립시키고 상기 제 2 영역의 라인폭을 소정 폭만큼 감소시키는 단계;

상기 제 1, 2 영역을 포함한 전면에 펌프의 외벽막으로서 폴리실리콘막을 증착하는 단계;

상기 폴리실리콘막을 선택적으로 패터닝하여 상기 제 1 영역 및 제 2 영역의 소정 부분을 각각 오픈시키는 유로 입구/출구용 창을 형성하는 단계;

상기 유로 입구/출구용 창을 이용하여 상기 열산화막을 제거하여 상기 폴리실리콘막을 외벽으로 하는 펌핑 공간 영역을 형성하는 단계; 및

상기 폴리실리콘막상에 열전체를 형성하는 단계

를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 마이크로 펌프의 제조 방법

8 8

제 7 항에 있어서,

상기 제 1, 2 영역을 형성하는 단계는,

상기 실리콘기판상에 실리콘질화막, 실리콘산화막을 순차적으로 형성하는 단계;

상기 실리콘산화막상에 펌프영역을 패터닝하기 위한 마스크를 형성하는 단계; 및

상기 마스크를 이용하여 상기 실리콘산화막과 상기 실리콘질화막을 순차적으로 식각하고 계속해서 상기 실리콘기판을 식각하는 단계

를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 마이크로 펌프의 제조 방법

9 9

제 7 항에 있어서,

상기 제 1 영역의 실리콘라인은 스페이스가 라인보다 상대적으로 큰 비율로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프의 제조 방법

10 10

제 7 항에 있어서,

상기 제 2 영역의 실리콘라인은 상기 제 1 영역의 실리콘라인의 선폭보다 상대적으로 큰 비율로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프의 제조 방법

11 11

제 7 항에 있어서,

상기 제 1, 2 영역을 열산화시키후,

상기 제 1 영역에 매립된 열산화막을 상기 실리콘기판의 계면까지 식각하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프의 제조 방법

12 12

제 7 항에 있어서,

상기 열산화막을 제거하는 단계는,

불화수소 용액을 이용하여 습식제거하는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프의 제조 방법

13 13

제 7 항에 있어서,

상기 제 2 영역은 하나 또는 다수의 실리콘라인으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프의 제조 방법

14 14

제 7 항에 있어서,

상기 주공간영역은 사각형, 원형 또는 다각형 중 어느 하나의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프의 제조 방법

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2 US6531417 US 미국 DOCDBFAMILY
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