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광모드 크기 변환기가 결합된 레이저 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015077983
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 렌즈없이 레이저와 광섬유간의 광결합을 용이하게 하도록 한 광모드 크기 변환기가 결합된 레이저에 관한 것으로, 제 1 도파로, 및 상기 제 1 도파로에 광모드가 결합되는 리지 형태의 광모드 크기 변환영역과 평면매립형태의 활성층으로 이루어진 제 2 도파로를 포함하며, 상기 광모드 크기 변환 영역은 상기 활성층의 폭이 감소하는 기울기로 형성된다. 이와 같이 본 발명에서는 평면매립형 레이저 구조와 쌍도파로 형태의 광모드 크기 변환영역을 결합시켰으며, 레이저활성층으로 이루어진 도파로의 측면패턴 형성시, 광모드 크기 변환 영역에서 도파로의 폭을 감소시켜 레이저 영역에서 방출된 빛이 손실없이 리지 형태의 도파로에 결합되도록 하여 원하는 광모드 특성을 얻을 수 있다.광모드 크기 변환기, SSC, 레이저, 리지, 평면매립형, 광모드
Int. CL H01S 5/20 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020010017315 (2001.04.02)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2002-0077567 (2002.10.12) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.04.02)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류상완 대한민국 대전광역시유성구
2 김제하 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2001-0074185-11
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.12.18 수리 (Accepted) 9-1-2002-0032713-44
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0077105-10
7 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.04.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2003-0157326-12
8 의견서
Written Opinion		 2003.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2003-0157331-30
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2003.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0428715-95
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

광모드 크기 변환기가 결합된 광소자에 있어서,

제 1 도파로; 및

상기 제 1 도파로에 광모드가 결합되는 리지 형태의 광모드 크기 변환영역과 평면매립형태의 활성층으로 이루어진 제 2 도파로를 포함하며,

상기 광모드 크기 변환 영역은 상기 활성층의 폭이 감소하는 기울기로 형성된 것을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 광소자

2 2

제 1 항에 있어서,

상기 제 1 도파로는 상기 제 2 도파로에 비해 굴절율 차이가 작은 층으로 이루어지며, 상기 제 1 도파로는 상기 제 2 도파로에 비해 그 두께가 작은 것을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 광소자

3 3

제 1 항에 있어서,

상기 제 2 도파로는 언더컷 식각된 것을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 광소자

4 4

제 1 항에 있어서,

상기 광모드 크기 변환 영역은 상기 활성층에 접하며 폭이 감소하는 기울기가 큰 제 1 영역과 폭이 감소하는 기울기가 작은 제 2 영역을 포함함을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 광소자

5 5

제 4 항에 있어서,

상기 제 1 영역은 1㎛∼1

6 6

제 1 항에 있어서,

상기 제 2 도파로는 선택적 영역 결정 성장법으로 형성된 것을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 광소자

7 7

제 1 항에 있어서,

상기 제 1 도파로와 상기 제 2 도파로 사이에 분리층이 삽입된 것을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 광소자

8 8

제 1 항에 있어서,

상기 활성층은 레이저, 반도체광증폭기, 광변조기 또는 다모드 간섭기 중 어느 하나의 활성층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 광소자

9 9

광모드 크기 변환기가 결합된 광소자의 제조 방법에 있어서,

제 1 도파로, 분리층, 제 2 도파로를 순차적으로 형성하는 단계;

상기 제 2 도파로상에 유전층패턴을 형성하는 단계;

상기 유전층패턴을 마스크로 이용하여 상기 제 2 도파로를 언더컷 식각하여 레이저활성층과 광모드크기변환영역을 동시에 형성하는 단계;

상기 제 2 도파로 측면에 전류차단층을 형성하는 단계;

상기 전류차단층을 포함한 전면에 클래딩층을 형성하는 단계;

상기 클래딩층, 전류차단층 및 제 2 도파로를 선택적으로 식각하여 리지 패턴을 형성하는 단계; 및

상기 리지패턴의 양측에 폴리이믿층을 형성하는 단계

를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 평면매립형 레이저의 제조 방법

10 10

제 9 항에 있어서,

상기 유전층패턴을 형성하는 단계에서,

상기 유전층패턴은 질화규소막을 포함하되, 2㎛∼3㎛의 폭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 평면매립형 레이저의 제조 방법

11 11

제 9 항에 있어서,

상기 제 2 도파로를 식각하는 단계는,

습식식각으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 평면매립형 레이저의 제조 방법

12 12

제 9 항에 있어서,

상기 제 2 도파로를 식각하는 단계에서,

상기 광모드 크기 변환영역은 상기 활성층의 폭이 감소하는 기울기로 형성되되, 기울기가 큰 제 1 영역과 기울기가 작은 제 2 영역으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 평면매립형 레이저의 제조 방법

13 13

제 9 항에 있어서,

상기 리지패턴을 형성하는 단계는,

반응성이온식각과 선택적 습식식각을 혼용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광모드 크기 변환기가 결합된 레이저의 제조 방법

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1 US20020141682 US 미국 FAMILY

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1 US2002141682 US 미국 DOCDBFAMILY
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