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반도체 제조장비의 샘플 홀더 구동장치 및 이를 이용한 에칭방법

  • 기술번호 : KST2015078159
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조장치의 샘플 홀더 구동장치 및 이를 이용한 에칭방법에 관한 것으로, 이온 빔의 입사각에 대한 샘플의 기울기 및 회전속도를 조절할 수 있고, 식각 중에 샘플을 냉각시킬 수 있도록 하여 경사 계면형(ramp-edge) 접합 제작시 요구되는 샘플의 매끈한 계면 형성을 용이하게 구현할 수 있는 반도체 제조장비의 샘플 홀더 구동장치 및 이를 이용한 에칭방법에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은 상면에 이온빔 에칭될 시료가 배치되고, 주연부에 기어치가 형성된 샘플 홀더; 일측이 상기 샘플 홀더의 기어치에 맞물리도록 설치된 회전 기어부; 상기 회전 기어부를 통해 동력을 전달하여 상기 샘플 홀더를 중심축을 중심으로 회전시키는 모터; 상기 샘플 홀더를 수평방향 축을 중심으로 회동 가능하게 지지하는 고정부재; 일측이 상기 고정부재에 연결된 회동 기어부; 및 상기 회동 기어부를 통해 회전력을 전달하여 상기 샘플 홀더를 이온빔 입사방향에 대하여 소정 각도로 기울어지도록 회동시키는 구동수단을 포함하는 반도체 제조장비의 샘플 홀더 구동장치를 제공하고, 조정 가능한 회전 구동수단에 의해 이온빔 에칭할 시료가 위치된 샘플 홀더를 소정 속도로 회전시키는 제1단계; 상기 샘플 홀더가 회전되는 상태에서 조절 가능한 기울기 구동수단에 의해 상기 샘플 홀더를 이온빔 입사 각도에 대하여 소정 각도로 기울이는 제2단계; 상기 샘플 홀더의 시료에 이온빔 에칭하여 경사 계면을 형성하는 제3단계; 및 상기 샘플 홀더의 하면에 액체 질소를 공급하는 제4단계를 포함하는 샘플 홀더 이온빔 에칭방법을 제공함으로써, 이온 빔 에칭중 샘플을 이온 빔 입사 방향에 대해서 기울이고 회전시킴에 의해서 경사 계면형(ramp-edge) 접합 제작시 요구되는 매끈한 계면 형성을 용이하게 구현할 수 있다.샘플 홀더, 샘플홀더 구동장치, 회전 구동수단, 기울기 구동수단, 냉각라인
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01)
CPC H01J 37/32733(2013.01) H01J 37/32733(2013.01)
출원번호/일자 1020010056188 (2001.09.12)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0421415-0000 (2004.02.23)
공개번호/일자 10-2003-0023166 (2003.03.19) 문서열기
공고번호/일자 (20040309) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.09.12)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김준호 대한민국 경상남도진주시
2 성건용 대한민국 대전광역시유성구
3 김상협 대한민국 충청남도금산군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성특허법인(유한) 대한민국 서울특별시 송파구 중대로 ***, ID타워 ***호 (가락동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2001-0233643-62
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.07.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2003-0033177-84
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2003.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0332213-14
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2003-0400172-12
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2003.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-0454877-80
8 의견서
Written Opinion		 2003.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2003-0503289-82
9 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2003.12.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2003-0503273-52
10 등록결정서
Decision to grant		 2004.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0054421-95
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

상면에 이온빔 에칭될 시료가 배치되고, 주연부에 기어치가 형성된 샘플 홀더;

일측이 상기 샘플 홀더의 기어치에 맞물리도록 설치된 회전 기어부;

상기 회전 기어부를 통해 동력을 전달하여 상기 샘플 홀더를 중심축을 중심으로 회전시키는 모터;

상기 샘플 홀더를 수평방향 축을 중심으로 회동 가능하게 지지하는 고정부재;

일측이 상기 고정부재에 연결된 회동 기어부; 및

상기 회동 기어부를 통해 회전력을 전달하여 상기 샘플 홀더를 이온빔 입사방향에 대하여 소정 각도로 기울어지도록 회동시키는 구동수단

을 포함하는 반도체 제조장비의 샘플 홀더 구동장치

2 2

제1항에 있어서,

상기 회전 기어부는

상기 모터의 회전력을 감속 및 증강하여 전달하는 감속기;

상기 감속기에 연결된 구동축; 및

일측은 상기 구동축에 연결되고, 그 타측은 상기 샘플 홀더의 기어치에 맞물려 모터의 구동력을 샘플 홀더에 전달하는 베벨기어

를 포함하는 반도체 제조장비의 샘플 홀더 구동장치

3 3

삭제
4 4

제1항에 있어서,

상기 구동수단은 작업자가 수동으로 회전시키는 회전 핸들바로 이루어지며;

상기 회동 기어부는

상기 회전 핸들바와 연결된 회전축의 일단에 고정된 워엄; 및

일측은 상기 워엄과 맞물리고, 그 타측은 상기 고정부재와 결합되어 워엄을 통해 전달된 회전력에 의해 상기 샘플 홀더를 기울어지도록 회동시키는 수평기어

를 포함하는 반도체 제조장비의 샘플 홀더 구동장치

5 5

삭제
6 6

조정 가능한 회전 구동수단에 의해 이온빔 에칭할 시료가 위치된 샘플 홀더를 소정 속도로 회전시키는 제1단계;

상기 샘플 홀더가 회전되는 상태에서 조절 가능한 기울기 구동수단에 의해 상기 샘플 홀더를 이온빔 입사 각도에 대하여 소정 각도로 기울이는 제2단계;

상기 샘플 홀더의 시료에 이온빔 에칭하여 경사 계면을 형성하는 제3단계; 및

상기 샘플 홀더의 하면에 액체 질소를 공급하는 제4단계

를 포함하는 샘플 홀더 이온빔 에칭방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.