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매몰된 인덕터 자기 유도형 광스위치 제작방법

  • 기술번호 : KST2015078256
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 매몰된 인덕터 자기 유도형 광스위치 제작방법을 개시한다. 본 발명은 미소 부분품 조립방법이 아닌 웨이퍼 일괄 제작방법의 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 기술을 활용하여, 기판에 매몰된 인덕터의 자기력에 의하여 자성을 띤 거울이 기판에 수직으로 정렬됨으로써 광경로를 변경시키는 광스위치를 제작한다. 본 발명에 의하면 다수의 기판 및 광부분품을 조립할 필요가 없어 제작방법과 기판의 가공성 및 조립성이 단순해진다.
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01) G02B 26/0833(2013.01)
출원번호/일자 1020010085040 (2001.12.26)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0413522-0000 (2003.12.18)
공개번호/일자 10-2003-0055485 (2003.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20040103) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.12.26)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최창억 대한민국 대전광역시유성구
2 이명래 대한민국 대전광역시유성구
3 장원익 대한민국 대전광역시유성구
4 류호준 대한민국 대전광역시유성구
5 정문연 대한민국 대전광역시유성구
6 전치훈 대한민국 대전광역시유성구
7 김윤태 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
2 이해영 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2001-0346093-77
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2003-0052502-10
5 등록결정서
Decision to grant		 2003.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0458876-74
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

자성을 띤 거울이 인덕터의 자기력에 의하여 상기 거울을 지지하는 기판에 수직으로 정렬됨으로써 광경로를 변경시키는 광스위치의 제작방법으로서,

기판의 뒷면을 식각함으로써, 상기 기판 내에 거울 포켓(mirror pocket)과 인덕터가 매몰될 홈을 형성하는 단계;

상기 홈에 상기 기판에 평행되게 코일이 감겨진 인덕터를 매몰하는 단계; 및

상기 기판의 앞면을 가공하여 상기 거울 포켓에 정렬되는 거울과 상기 거울을 지지하는 토션 바(torsion bar)를 일체로 형성하면서 상기 거울 포켓을 완전히 개방하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 홈에 인덕터를 매몰하는 단계는 상기 기판의 가공과는 별도로 제작된 마이크로 인덕터를 상기 홈에 삽입하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 홈에 인덕터를 매몰하는 단계는

상기 홈의 내벽과 바닥에 절연막을 1차 코팅한 다음, 다수의 1차 메탈라인을 상기 홈 내부와 상기 홈 외부 턱에 형성하는 단계;

상기 1차 메탈라인이 형성된 결과물 상에 절연막을 2차 코팅한 다음, 자성 금속을 증착하여 상기 홈 내부에 매립되는 자심체를 형성하는 단계; 및

상기 자심체가 형성된 결과물 상에 절연막을 3차 코팅한 다음, 상기 1차 메탈라인과 각각 연결되는 다수의 2차 메탈라인을 형성하여 상기 자심체를 감싸는 코일을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

4 4

실리콘 베이스층, 매몰산화막 및 반도체층이 순차 적층된 SOI(Silicon On Insulator)형 기판을 제공하는 단계;

상기 실리콘 베이스층을 식각함으로써 상기 매몰산화막을 노출시키는 거울 포켓과 상기 매몰산화막을 노출시키지 않는 인덕터 매몰용 홈을 형성하는 단계;

상기 홈의 내벽과 바닥에 절연막을 1차 코팅한 다음, 다수의 1차 메탈라인을 상기 홈 내부와 상기 홈 외부 턱에 형성하는 단계;

상기 1차 메탈라인이 형성된 결과물 상에 절연막을 2차 코팅한 다음, 자성 금속을 증착하여 상기 홈 내부에 매립되는 자심체를 형성하는 단계;

상기 자심체가 형성된 결과물 상에 절연막을 3차 코팅한 다음, 상기 자심체를 둘러싸는 코일이 완성되도록 상기 1차 메탈라인과 연결되는 다수의 2차 메탈라인을 형성함으로써, 상기 실리콘 베이스층에 수평적으로 매몰된 인덕터를 제조하는 단계; 및

상기 인덕터의 자기력에 의하여 구동되는 거울이 형성되도록, 상기 반도체층 상에 자성층 및 광반사층을 증착한 후 상기 거울의 중심 이하 하반부가 상기 자기력에 의해 당겨질 경우 상기 거울 포켓에 수직적으로 삽입되도록 거울 패턴을 평면적으로 정의하는 단계를 포함하여, 상기 거울과 상호 연결된 토션 바가 형성되도록 상기 반도체층을 식각하는 단계; 및

상기 거울 포켓이 완전히 개방되고 상기 거울이 토션 바에 의하여 상기 기판 표면으로부터 플로팅(floating)된 구조를 갖도록 상기 거울과 토션 바 하부의 상기 매몰산화막을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

5 5

제 4 항에 있어서, 상기 반도체층은 실리콘 에피층 또는 폴리실리콘층인 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

6 6

제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 절연막은 산화막인 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

7 7

제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 거울 포켓과 홈은 트렌치(trench) 식각 방법에 의하여 각각 식각하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

8 8

제 7 항에 있어서, 상기 거울 포켓은 수직적 식각 단면구조를 갖도록 형성하고, 상기 홈의 내벽은 경사지게 형성하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

9 9

제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 거울 포켓은 반응성 이온식각(RIE)방법으로 형성하고, 상기 홈은 습식식각용액을 이용한 등방성 식각방법에 의하여 형성하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

10 10

제 9 항에 있어서, 상기 습식식각용액은 KOH인 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

11 11

제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 메탈라인은 Al 또는 Cu인 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

12 12

제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 자심체는 Ni, Fe 또는 Cr인 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

13 13

제 4 항에 있어서, 상기 자성층은 Ni, Fe 또는 Cr인 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

14 14

제 4 항에 있어서, 상기 광반사층은 Al, Au 또는 Ni인 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

15 15

제 4 항에 있어서, 상기 매몰산화막을 식각하는 단계는 불산(HF)용액을 사용한 습식식각 방법에 의하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

16 16

제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 거울의 패턴은 평면적 모양이 원형 또는 다각형의 모양으로 구성되며 상기 거울 포켓의 평면적 모양도 사각형 패턴 외 임의의 모양으로 형성하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

17 17

제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기의 거울과 연결되는 토션 바의 기계적 탄성 조절을 위하여 상기 토션 바의 형태를 직선구조 또는 맨더(meander)구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

18 18

제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 기판에 수평적으로 매몰된 인덕터 자기 유도형의 개별 광스위치가 어레이 형태로 배열된 M×N 매트릭스 구조의 광스위치를 제조하기 위하여,

상기 제작방법에 따라 상기 기판에 다수의 광스위치를 집적하는 단계; 및

상기 광스위치가 집적된 동일 기판 상에 마이크로 렌즈 및 광섬유 집적을 위한 부대공정으로서 광스위치 영역 바깥 부분에 홈을 형성시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광스위치 제작방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.