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중앙에 요부가 형성된 틀과, 상기 요부에 삽입되며 유체의 흐름을 위해 서로 연결된 다수의 미세 채널이 형성된 윅으로 이루어져 상기 미세 채널과 상기 요부에 형성되는 공간을 통해 유체의 흐름이 이루어지도록 구성된 냉각 장치에 있어서, 상기 미세 채널이 포토 에칭 공정으로 형성된 것을 특징으로 하는 포토 에칭 공정으로 제작된 윅을 구비한 냉각 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 요부는 원형 및 다각형 중 어느 하나의 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 포토 에칭 공정으로 제작된 윅을 구비한 냉각 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 미세 채널의 높이는 상기 틀의 두께보다 낮은 것을 특징으로 하는 포토 에칭 공정으로 제작된 윅을 구비한 냉각 장치
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4
제 1 항에 있어서, 상기 미세 채널은 원형, 방사형 및 다각형 중 어느 하나의 형태로 배열된 것을 특징으로 하는 포토 에칭 공정으로 제작된 윅을 구비한 냉각 장치
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5
금속판의 중앙부에 포토 에칭 공정으로 다수의 미세 채널이 형성되어 상기 미세 채널을 통해 유체의 흐름이 이루어지도록 구성된 윅을 구비하며, 상기 미세 채널이 내부에 위치되도록 상기 금속판이 다각 형태로 절곡된 것을 특징으로 하는 냉각 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 미세 채널의 높이는 상기 금속판의 두께보다 낮은 것을 특징으로 하는 냉각 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 미세 채널은 원형, 방사형 및 다각형 중 어느 하나의 형태로 배열된 것을 특징으로 하는 냉각 장치
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