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유체수송용 마이크로 펌프 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015078492
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조 공정기술을 이용하여 순간적인 외부온도 상승에 따른 밀폐된 유체의 압력상승으로 정지된 유체의 흐름을 한방향으로 유도하는 유체수송용 마이크로 펌프에 관한것이다.이를 위해, 하부 기판, 전압의 인가에 따라 열을 발생시키고 이를 통해 유체의 압력을 제어하기 위해 하부 기판상에 소정 패턴으로 형성된 열발생층, 열발생층 상부에 형성된 캐비티, 캐비티 상부에 열발생층에서 발생된 열에 따라 팽창하도록 형성된 맴브레인, 맴브레인과 상부 기판을 경계로 포함하여 형성된 유체 수송로, 및 유체 수송로의 경계를 형성하기 위해 패터닝된 상부 기판을 포함하며, 유체 수송로의 유체 주입구에서 유체 방출구의 하부에 형성된 열발생층을 부분적으로 가열함에 따라서, 맴브레인을 팽창시키고, 이를 이용하여 유체를 수송하는 표면 마이크로머시닝에 의해 제조된마이크로 펌프를 제공한다.마이크로 펌프, 맴브레인, 유체 수송
Int. CL B81C 1/00 (2006.01)
CPC B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01) B81B 3/0018(2013.01)
출원번호/일자 1020020010426 (2002.02.27)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0469644-0000 (2005.01.24)
공개번호/일자 10-2003-0070954 (2003.09.03) 문서열기
공고번호/일자 (20050202) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.02.27)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장원익 대한민국 대전광역시유성구
2 최창억 대한민국 대전광역시유성구
3 전치훈 대한민국 대전광역시유성구
4 김윤태 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2002-0058444-12
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.01.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.02.12 수리 (Accepted) 9-1-2004-0005429-28
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0358350-93
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2004-0490141-74
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2004-0541195-14
8 의견서
Written Opinion		 2004.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2004-0628758-71
9 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.12.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0628753-43
10 등록결정서
Decision to grant		 2005.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0024639-27
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

하부 기판;

내부에 밀폐된 캐비티가 형성되도록 상기 하부 기판 상에 형성되며, 상하로 이동 가능하도록 주름이 형성된 맴브레인;

상기 캐비티 내부의 공기가 팽창되도록 열을 가하기 위한 히터;

내부에 유체 수송로가 형성되도록 상기 맴브레인 상에 형성되며, 유체 주입구 및 유체 방출구를 구비하는 상부 기판을 포함하며,

상기 유체 주입구를 통해 상기 유체수송로로 제공된 유체가 상기 캐비티 내부 공기의 팽창에 따른 상기 맴브레인의 이동에 의해 상기 유체 방출구 쪽으로 수송되는 것을 특징으로 하는 유체 수송용 마이크로 펌프

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 주름은 상기 맴브레인의 상부에 형성된 것을 특징으로 하는 유체 수송용 마이크로 펌프

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 히터 및 상기 맴브레인은 폴리실리콘으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유체 수송용 마이크로 펌프

4 4

제 1 항에 있어서, 상기 하부기판은 실리콘 기판이고, 상기 상부기판은 유리기판인 것을 특징으로 하는 유체 수송용 마이크로 펌프

5 5

하부기판 상에, 전압의 인가에 따라 열을 발생시키고 이를 통해 유체의 압력을 제어하기 위해 소정 패턴으로 열발생층을 형성하는 단계;

상기 열발생층 상부에 절연막을 형성하는 단계;

상기 절연막 상부에, 상기 열발생층에서 발생된 열에 따라 팽창하는 맴브레인을 형성하는 단계;

상기 맴브레인의 표면에 식각용 구멍을 형성하여, 상기 식각용 구멍을 통해 상기 절연층의 전부 또는 일부분을 식각하여 캐비티를 형성하는 단계; 및

상기 맴브레인의 상부에 상부기판을 형성하여, 상기 맴브레인과 상부 기판을 경계로 포함하는 유체 수송로를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 수송용 마이크로 펌프 제조 방법

6 6

제 5 항에 있어서, 상기 맴브레인을 형성한 후, 상기 맴브레인의 상부표면에 주름을 형성하기 위해 포토래지스트를 도포하고, 부분적으로 잔류시킨 후 식각공정을 실시하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 수송용 마이크로 펌프 제조 방법

7 7

제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 캐비티를 형성한 후, 상기 식각용 구멍을 포토레지스트, 절연막 또는 폴리머 등으로 캡핑하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 유체 수송용 마이크로 펌프 제조 방법

8 8

제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 캐비티를 형성하는 단계는, 무수불화수소 및 알코올류를 포함하여 기상식각방법으로 수행하는 것을 특징으로 하는 유체 수송용 마이크로 펌프 제조 방법

9 9

제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 열발생층 및 상기 맴브레인은 폴리실리콘으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유체 수송용 마이크로 펌프의 제조 방법

10 10

제 5 항 또는 제 6 항에 있어서, 상기 하부기판은 실리콘 기판이고, 상기 상부기판은 유리기판인 것을 특징으로 하는 유체 수송용 마이크로 펌프의 제조 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.